Gebraucht ASYST IsoPort #146783 zu verkaufen

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Hersteller
ASYST
Modell
IsoPort
ID: 146783
Wafer loaders, 12" P/N: 9700-9129-01 Rev J Software: 5206 2702 0800 K-plate cover, 9700-9301-01 Prot sensors, 9700-9225-01 ABCD pads, 9700-9227-01 Wafer mapper, 9700-9116-02 Options: 9701-1716 -01 9701-1719 -01 9701-1755 -01 2007 vintage.
ASYST IsoPort ist ein Wafer-Handler von ASYST Technologies, der für die Bewegung und Handhabung von integrierten Schaltkreis (IC) Wafern verwendet wird. IsoPort besteht aus einer Reihe verschiedener Komponenten, die alle in einer einzigen, in sich geschlossenen Einheit enthalten sind. ASYST IsoPort ist eine Robotereinheit, die aus zwei Hauptkomponenten besteht - dem Transferroboter und dem Handlerroboter. Der Transferroboter hat sechs unabhängige Gelenkarme mit Kryo-Vakuum. Damit werden die IC-Wafer von einer Produktionsstation zur nächsten auf der integrierten Produktionslinie transportiert. Der Handler-Roboter verwendet fünf hochzuverlässige Gelenkarme, um IC-Wafer vom Transferroboter zum Wafer-Montagebereich zu bewegen. IsoPort wurde mit Präzision, Genauigkeit und Flexibilität als Hauptziel konzipiert. Daher verfügt ASYST IsoPort über eine Wafer-Bilderkennungseinrichtung, die die Anzahl der in jedem Tablett enthaltenen Wafer identifizieren und etwaige Auffälligkeiten im Substrat erkennen kann. Dadurch ist sichergestellt, dass die Wafer schnell und präzise überführt und gehandhabt werden können. IsoPort verfügt zudem über eine einzigartige temperaturgesteuerte Infrarot-Umgebung im Gehäuse. Dadurch lassen sich temperaturempfindliche Operationen wie z.B. Verkleben ohne Beschädigung der empfindlichen Wafer realisieren. Der Roboter ist so programmiert, dass er eine schnelle Reaktion und „weiche“ Handhabung bei der Übertragung oder Handhabung von Wafern erzeugt, um sicherzustellen, dass die Integrität des Substrats nicht beeinträchtigt wird. ASYST IsoPort kommt auch mit einem dreidimensionalen Mapping-System, so dass die Roboterarme in der Lage sind, Wafer genau zu lokalisieren. Die Mapping-Einheit ist in der Lage, bis zu vier verschiedene Produktionsrezepte zu speichern und ermöglicht es Benutzern, individuelle Mapping-Optionen für jeden Produktionslauf zu definieren. Schließlich wurde IsoPort mit Blick auf Benutzerfreundlichkeit entwickelt. Die Benutzeroberfläche von ASYST IsoPort verfügt über kleine grafische Symbole, die zur einfachen Steuerung der Roboterarme verwendet werden können. Der Bediener kann den Produktionsstatus auch in Form einer grafischen Anzeige für die gesamte Produktionsmaschine auf einen Blick überprüfen. Insgesamt ist IsoPort ein hochentwickelter, fortschrittlicher Wafer-Handler, der Genauigkeit, Präzision und Flexibilität für die Herstellung von IC-Wafern bietet. Es nutzt eine Reihe von Technologien wie Kryo-Vakuum, Bilderkennung, Temperaturregelung, Mapping und grafische Benutzeroberfläche, um sicherzustellen, dass Wafer Manipulation und Handhabung effizient und ohne Beschädigung der empfindlichen Substrate durchgeführt wird.
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