Gebraucht ASYST IsoPort #293649502 zu verkaufen

ASYST IsoPort ist ein Wafer-Handler, der die Übertragung von Halbleiterscheiben in und aus Vakuumverarbeitungswerkzeugen erleichtert. Es ist eine berührungslose, vakuumfreie, scannende Wafer-Ladestation, die 6- und 8-Zoll-Wafer aufnehmen kann. Zu den Hauptmerkmalen von IsoPort gehören eine patentierte Silizium-Spitze, eine weiche, gefederte Mikrometer-Spitze, die den Wafer an seiner Vorderseite (flache) Kante in Eingriff bringt, und ein innovativer Thermoscanner-Mechanismus, der die Abmessungen des Wafers abbildet. Dies ermöglicht eine mechanische Anpassung an unterschiedliche Wafergrößen und liefert eine sichere und zuverlässige Übertragung von Wafern in und aus Vakuumverarbeitungswerkzeugen. ASYST IsoPort verfügt über eine dedizierte 100-Mikron-Größenlücke für die Übertragung eines einzelnen Wafers auf einmal und erfordert keine Vorausrichtung oder den Einsatz von Werkzeugen. Vielmehr beruht sie auf den abgebildeten thermischen Scannerdaten, um bei der Übertragung des Wafers mit hoher Geschwindigkeit präzise Positionsregistrierungen aufrechtzuerhalten. Der Wafer-Handler verwendet ein Farb-Touchscreen-Display, um mit seinem Host-Gerät zu kommunizieren, wo Benutzer es steuern und überwachen können. IsoPort-Signalplatine bietet auch direkte optische Anzeige von Kammerschlössern und Entladefehlern, die während der Übertragung auftreten können. So können Bediener Fehler schnell erkennen und beheben. Der Wafer-Handler ist so konzipiert, dass er minimalen Platzbedarf bietet und es seinen Benutzern ermöglicht, das Werkzeug einfach anzupassen und die Komponenten nach Bedarf zu ersetzen. Das Edelstahl-Interieur von ASYST IsoPort ermöglicht es auch, chemisch aggressive Flüssigkeiten und Testwafer zu behandeln, die rauen Temperaturen ausgesetzt sind. Um eine maximale Systemverfügbarkeit zu gewährleisten, verfügt IsoPort über verschiedene integrierte Systemdiagnosen, einschließlich eines selbstdiagnostizierenden Lüfters, der Fehler überwacht und meldet. Es enthält auch eine integrierte Rückkopplungsmaschine mit Echtzeit-Sensoren für genauere Kalibrierung und ein Echtzeit-Thermoelement für präzise thermische Übertragung von Wafern. Insgesamt ist ASYST IsoPort ein vielseitiger Wafer-Handler, der zuverlässige Leistung und schnelle Wafer-Übertragung bietet. Der innovative Thermoscanner und die sensorbasierten Rückkopplungssysteme ermöglichen eine präzise Positionsregistrierung während der Übertragung und ermöglichen es Benutzern, das Tool in Echtzeit zu überwachen. IsoPort ist so konzipiert, dass es maximale Betriebszeiten und minimalen Platzbedarf bietet.