Gebraucht ASYST IsoPort #293768262 zu verkaufen

ASYST IsoPort ist ein automatisiertes Wafer-Handler-Gerät zur Herstellung von Halbleitern. Das Gerät wurde entwickelt, um Wafer verschiedener Größen (einschließlich 6 Zoll und 8 Zoll Wafer) zu handhaben und in Prozesskammern zu platzieren. IsoPort ist aus Edelstahl gefertigt und bietet eine stabile, sichere und sichere Umgebung für den Wafertransfer. Das Gerät ist in der Lage, Geschwindigkeiten bis zu 124 Wafer pro Stunde, mit einer durchschnittlichen Übertragungsrate von 90 Wafer pro Stunde. Das Gerätedesign umfasst ein Vakuumsystem mit zwei Stufen, das den Wafer aufnimmt und platziert. Diese Stufen bestehen aus dem Antriebsmotor, der die Geschwindigkeit des Prozesses steuert, und dem Vakuumkopf, der für das Greifen des Wafers verantwortlich ist. Die letztgenannte Komponente ist so konzipiert, dass sie mit jeder Frontöffnung Unified Pod (FOUP) oder Flachkassette kompatibel ist. ASYST IsoPort bietet eine geringe Partikelumgebung für alle kritischen Prozessparameter wie Partikelzahl, Aerosol, Feuchtigkeit und Temperatur. Das Gerät ist mit einem ultra-sauberen Innenraum konzipiert und verfügt über eine Innenbeleuchtungseinheit zur Partikelerkennung. Die Luftfiltrationsmaschine auf IsoPort verwendet hocheffiziente Partikelluftfilter (HEPA) zur maximalen Partikelkontrolle. Die Sicherheit des Wafer-Handhabungsprozesses wird durch die Konstruktion des Wafer-Handhabungsroboters weiter erhöht. Der Roboter verfügt über spezielle Bewegungsoptiken, die ein dreiachsiges Sensorwerkzeug bereitstellen, das Objekte mit hoher Genauigkeit erkennen kann. Dazu gehören ein Vision-Sensor, der Form, Größe und Ausrichtung eines Wafers sowie einen Laser-Entfernungsmesser erkennt, um den Abstand zwischen dem Endeffektor des Roboters und dem Wafer zu messen. Der Roboter kann anormale Zustände erkennen und sofort stoppen, um Schäden am Wafer zu vermeiden. ASYST IsoPort ist mit einem hocheffizienten fehlertoleranten Steuermodell ausgestattet, das für den ununterbrochenen Betrieb ausgelegt ist. Diese Funktion stellt sicher, dass der Wafer-Handler durch Stromausfälle, Kommunikationsfehler und Umweltstörungen arbeiten kann. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer intuitiven, benutzerfreundlichen Bedienoberfläche ausgestattet, mit der es von einem Computer oder einer Steuerungskonsole aus ferngesteuert werden kann. Insgesamt ist IsoPort eine effiziente, zuverlässige und sichere Ausrüstung für den Umgang mit Wafern verschiedener Größen. Das Gerät ist in der Lage, über hundert Wafer pro Stunde zu handhaben und bietet eine sichere und stabile Umgebung für den Wafer-Transfer. ASYST IsoPort ist mit verschiedenen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um Wafer vor Beschädigungen oder anderen potenziellen Gefahren zu schützen, die bei der Handhabung auftreten können. Das Gerät ist zudem mit einer hocheffizienten fehlertoleranten Steuerung und einer benutzerfreundlichen Bedienoberfläche ausgestattet und eignet sich somit für eine Vielzahl von Anwendungen.