Gebraucht ASYST IsoPort #293793872 zu verkaufen

ASYST IsoPort ist ein Wafer-Handler, der entwickelt wurde, um Halbleiterscheiben durch die Isolierstufen zu bewegen, die in Halbleiterherstellungsprozessen erforderlich sind. Es verfügt über eine dielektrische Barriere mit integrierten Drucksensoren, die es dem Wafer ermöglichen, während des gesamten Isolationsprozesses in Position zu bleiben. IsoPort wurde entwickelt, um eine präzise Isolation mit einer beeindruckenden Wiederholbarkeit von +/- 1,5 ° C und einer Bewegungsauflösung von 0,1 ° C zu gewährleisten. Der Wafer-Handler ist mit einem pneumatisch angetriebenen, vollen Bewegungsarm zur Positionierung des Wafers durch die Isolationsschritte ausgestattet. ASYST IsoPort verfügt auch über ein maßgeschneidertes Active Heat Balance-System, das eine präzise Temperaturregelung und eine gleichmäßige Erwärmung/Kühlung des Wafers während des gesamten Isolierungsprozesses ermöglicht. Darüber hinaus bietet IsoPort außerordentliche Zuverlässigkeit und ist in der Lage, unter extremen Bedingungen wie hoher Energieabscheidung und breitem thermischem Gefälle zu arbeiten. Darüber hinaus ist der Wafer-Handler mit allen bestehenden Halbleiterprozessanlagen kompatibel und bietet Kompatibilität mit Ozon- und Hochdurchsatz-Prozesskammern. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen bietet ASYST IsoPort optimale Ergebnisse und außergewöhnliche Leistung bei der Herstellung modernster Halbleiterbauelemente.