Gebraucht ASYST IsoPort #9199614 zu verkaufen

ASYST IsoPort ist eine automatisierte Wafer-Handling-Ausrüstung für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen. Es ist in der Lage, Wafer schnell und mit minimaler Waferverformung von einem Punkt zum anderen zu übertragen. Das System kann verschiedene Arten von Wafern verarbeiten, wie runde, quadratische und rechteckige, bis zu 12-Zoll-Durchmesser. Für maximale Flexibilität kann das Gerät vollautomatisch oder manuell gesteuert werden. Die IsoPort-Maschine besteht aus mehreren Modulen, darunter einem gitterlosen Waferübertragungswerkzeug, einem integrierten Prober, einem Waferlader und Entlader sowie einem ELV-ASYST IsoPort Temperaturregler. Das Wafer-Transfer-Asset kann sowohl einzelne als auch mehrere Wafer-Chargen verarbeiten und ist so konzipiert, dass es eine schwingungsarme Bewegung bei der Übertragung von Wafern gewährleistet. Es wird von hocheffizienten Schrittmotoren betrieben und beinhaltet auch eine integrierte ASYST Wafer Volume Pressure (WVP) Fähigkeit, die jede Waferdicke Variation während des Transports kompensiert. Der integrierte Prober besteht aus einem Manipulatorarm und einer Quarztür, die eine saubere Umgebung bieten, indem sie das Eintrittspotenzial von Staub und anderen Partikeln verringern. Der Prober ist in der Lage, bis zu sechs Wafer pro Zyklus zu übertragen, und kann für verschiedene Inline-Prüfverfahren wie Oberflächenqualitätsbewertung und elektrische Prüfung verwendet werden. Der Temperaturregler ELV-IsoPort ist darauf ausgelegt, die Temperatur während der Waferübertragung genau zu steuern und zu überwachen. Es verfügt über ein aktives Kühlmodell und kann sowohl zur Messung der Oberflächen- als auch der inneren Wafertemperaturen während eines einzigen Zyklus verwendet werden. Schließlich fungiert der Waferlader und Entlader als Puffer zwischen der Waferübertragungseinrichtung und dem integrierten Prober. Es wurde entwickelt, um maximale Flexibilität zu bieten und Temperaturen für optimale Leistung zu erhalten. Zusammenfassend ist ASYST IsoPort ein extrem vielseitiges und effizientes automatisiertes Wafer-Handling-System, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Wafern bis zu 12 Zoll Durchmesser durch hochgenaue und konsistente Bewegung zu übertragen und/oder zu testen. Mit seiner Kombination aus integrierten Modulen, Temperaturregelung und Hightech-Wafer-Lader/Entlader sorgt er für maximalen Durchsatz bei minimaler Waferverformung.