Gebraucht ASYST IsoPort #9249554 zu verkaufen

ASYST IsoPort ist ein integrierter Wafer-Handler zur Automatisierung von Halbleiterverarbeitungswerkzeugen. Diese Maschine ist für den Transport von nackten und bearbeiteten Halbleiterscheiben in einer Reinraumumgebung ausgelegt. Es ist in der Lage, Wafer von seinen Lastanschlüssen direkt auf eine Vielzahl von Arbeitswerkzeugen, wie z.B. Einwafer-Prozesskammern, zu übertragen. Mit einer Kombination von bis zu acht Roboterarmen, qualitativ hochwertigen, Luftmystations- und Ionisationssystemen kann IsoPort Wafer schnell und sicher von Station zu Station bewegen. Darüber hinaus ist die Maschine mit einem automatischen Kalibriersystem ausgestattet, mit dem sie bei Bedarf ihre Wafer-Greifkraft schnell einstellen kann. ASYST IsoPort ist auch mit einer ISO Klasse 4 Reinraumbewertung ausgestattet, so dass es ideal für ultra-saubere und kontaminationskontrollierte Umgebungen ist. Es ist in der Lage, bis zu fünfundzwanzig (25) Wafer in einem Zyklus mit einer maximalen Umsatzrate von einhundert fünfzig (150) Wafern pro Stunde zu übertragen. Darüber hinaus verfügt es über eine Standard-SiC (Silicon Carbide) -Beschichtung und ist mit einem proprietären Mehrpunkt-Wafer-Detektionssystem ausgestattet, das eine genaue Wafer-Identifikation vor jedem Verarbeitungszyklus gewährleistet. Darüber hinaus verfügt IsoPort über eine Reihe von Gassensoren, die es Betreibern ermöglichen, Prozessgase genauer und effizienter zu überwachen und zu steuern. Es verfügt auch über einen Partikelmonitor, der es den Betreibern ermöglicht, Partikel, Schmutz und andere Kontaminationen in der Reinraumatmosphäre leicht zu erkennen. Darüber hinaus steht eine Kassetten-zu-Kassetten-Fähigkeit zur Verfügung, mit der die Maschine in bestehende automatisierte Produktionslinien integriert werden kann. Schließlich wurde ASYST IsoPort entwickelt, um Ausfallzeiten, Kosten und Umweltauswirkungen durch den Einsatz fortschrittlicher Bewegungssteuerungstechnologie und fortschrittlicher Automatisierungssoftware zu reduzieren. Seine Benutzeroberfläche umfasst eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), die die notwendigen Informationen liefert, um die Maschine schnell und präzise einzurichten und zu bedienen. Es verfügt auch über Sicherheitssensoren und spezielle Handhabungsverhalten, um das Risiko einer Beschädigung der Wafer während des Transports zu minimieren.