Gebraucht ASYST IsoPort #9255526 zu verkaufen

ASYST IsoPort ist ein automatisierter Wafer-Handler, der Wafer schnell und präzise zwischen mehreren Wafer-Verarbeitungswerkzeugen verschieben kann. Es ist eine ideale Lösung für Anwendungen wie Halbleiterherstellung, MEMS-Gerätebearbeitung und optische Gerätebearbeitung. Dieser Wafer-Handler basiert auf einer vollständig skalierbaren, äußerst zuverlässigen Plattform, die eine hervorragende Leistung bietet. Es bietet einen schnellen Wechsel zwischen Werkzeugen und Prozessmodulen und bietet gleichzeitig eine robuste Umgebung für höchste Qualität. IsoPort verwendet ein X/Y-Achsenpositionssystem mit Direktantriebstechnologie, um eine präzise Handhabung von Wafern mit maximal 200mm zu gewährleisten. Die X/Y-Achse ermöglicht eine schnellere Waferübergabe und -umstellung sowie automatisierte Bewegungen um mehrere Bühnenpositionen einschließlich tiefer vertikaler Z-Bewegung zum Entfernen und Platzieren von Wafern. Die integrierte Hubarmtechnik reduziert die Taktzeiten durch die hohe Geschwindigkeit des Geräts und ist in der Lage, mehrere Wafer (bis zu 4) gleichzeitig zu transportieren. Die Benutzeroberfläche umfasst eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI), mit der Bediener selbst anpassen und verwalten können. ASYST IsoPort bietet Remote-Service und Diagnose als Teil seines Systems. IsoPort ist mit modularen Konzepten konzipiert, die es Anwendern ermöglichen, Konfigurationen einfach an die unterschiedlichen Anforderungen jeder Anwendung anzupassen. Dieser Wafer-Handler ist auch so konzipiert, dass er maximale Reinraumkompatibilität mit Funktionen wie einem Lichtvorhang und passivem ESD-Schutz bietet. ASYST IsoPort Wafer Handler wurde entwickelt, um die Produktivität zu maximieren, indem die Anzahl der Wafer, die zwischen Werkzeugen in kürzester Zeit übertragen werden, maximiert wird. Es ist auch entworfen, um die Zeit in einem Zyklus zu minimieren und präzise Ergebnisse zu liefern. Weitere Merkmale wie die Datenerfassung von Positions- und Lastparametern ermöglichen eine detaillierte Rückverfolgbarkeit. Da Sicherheit ein wichtiger Faktor in jedem Gerätehandhabungsprozess ist, verfügt der IsoPort-Wafer-Handler über mehrere ausfallsichere Mechanismen wie die automatische Abrufbarkeit von Wafern und dedizierte Filtersysteme zur Staubverhütung. Dieser Wafer-Handler wurde für die Arbeit und Leistung in den härtesten Umgebungen entwickelt und bietet sicherlich eine erhöhte Effizienz, schnellere Verarbeitung und erhöhte Sauberkeit.