Gebraucht ASYST IsoPort #9255530 zu verkaufen

ASYST IsoPort ist ein hochpräziser, partikelarmer Wafer-Handler, der in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet wird. Es wurde entwickelt, um einen zuverlässigen, genauen und wiederholbaren Betrieb in rauen und anspruchsvollen Prozessumgebungen zu gewährleisten. Zu den Hauptkomponenten eines IsoPort-Wafer-Handlers gehören ein Roboterarm mit mehreren Stationen, eine Wafer-Transferausrüstung und ein Wafer-Speichersystem. Der Roboterarm von ASYST IsoPort ist mit kundenspezifischen Endeffektoren ausgestattet, die in der Lage sind, Wafer in ausgewählten industriellen und kryogenen Umgebungen sicher zu handhaben und genau zu platzieren. Der Arm wird von Elektromotoren angetrieben und verwendet einen patentierten schwingungsarmen Servoantrieb, um Vibrationen, Ausgasungen und Partikelerzeugungen zu minimieren. Die Waferübertragungseinheit verwendet lineare Motormodule, um Wafer an bestimmten Stellen des Prozesszyklus genau zu platzieren. Der Wafer-Speicher besteht aus einem karussellartigen Inventar, das von einem Computer verwaltet wird und dem Bediener einen effizienten und einfachen Zugang zu Wafern bietet. Die Hauptvorteile des IsoPort-Wafer-Handlers sind seine Wiederholbarkeit, Genauigkeit und sein kompaktes Design. Die Robotereinheit ermöglicht eine genaue und wiederholbare Positionierung der Endeffektoren und ihr schwingungsarmer Servoantrieb minimiert Verschmutzungen. Das Waferübertragungswerkzeug ist präzise und wiederholbar, kann Wafer auch bei hohen Geschwindigkeiten präzise transportieren und platzieren. Schließlich ermöglicht es seine kompakte Bauweise, sich leicht in enge Räume in industriellen und kryogenen Umgebungen einzubringen. ASYST IsoPort Wafer Handler ist entworfen, um effizienten Betrieb und Haltbarkeit zu bieten. Es ist mit redundanten Verriegelungen und Antikollisionssensoren ausgestattet, die es und seine Bauteile vor Beschädigung und Verschmutzung schützen. Schließlich reduziert das Edelstahl- und Kunststoffdesign - zusammen mit seiner versiegelten, verschmolzenen und abgeschirmten Umgebung - Ausgasungen und Verschmutzungen und hilft, die Bauteile auch bei anspruchsvollsten Anwendungen zu schützen.