Gebraucht ASYST / LAM RESEARCH 4620 / 1150 #9182138 zu verkaufen

ASYST/LAM RESEARCH 4620/1150 Wafer Handler ist eine Roboterausrüstung für die Materialhandhabung und Prozessautomatisierung in der Waferherstellung. Es ist eine „cube-on-wheels“ -Plattform, die für den Betrieb bei hohen Temperaturen von bis zu 140 ° C ausgelegt ist. Es wird auch als „Reinraumsystem“ eingestuft, was bedeutet, dass es in einer Reinraumumumgebung der Klasse 1.000 betrieben werden kann. Der Wafer-Handler ist mit einer Overhead-CAE-Einheit verbunden und mit einem vertikalen Lift ausgestattet, wodurch er Wafer für Transport und Manipulation präzise positionieren und aufnehmen kann. Der Handler besteht aus einem Roboterarm, der die Wafer manipulieren kann, sowie einem Förderband zum Ein- und Ausfahren der Wafer. Darüber hinaus ist der Wafer-Handler mit einem Lift-Tilt-Transfer (LTT) -Mechanismus ausgestattet, der es ermöglicht, Wafer vom obenliegenden CAE auf den Roboterarm sowie vom Roboterarm auf das Förderband zu übertragen und umgekehrt. Der LTT-Mechanismus wird von einer hochpräzisen Robotersteuerungsmaschine gesteuert, die eine präzise Positionierung der Wafer ermöglicht. Darüber hinaus ist der ASYST 4620/1150 Wafer Handler mit einem fortschrittlichen laserbasierten Wafer-Tracking-Tool zur Erfassung der Position der Wafer sowie der Möglichkeit zur Integration in andere Prozesseinrichtungen wie Load-Port-Module, Waferkassettensysteme und Ofensysteme ausgestattet. Es kann auch mit einem Fabrikautomatisierungs-Asset zur Überwachung und Steuerung des gesamten Wafer-Herstellungsprozesses verbunden werden. Insgesamt ist LAM RESEARCH 4620/1150 Wafer Handler ein effizientes und fortschrittliches Robotermodell, das mehrere Wafer-Handhabungsoperationen in einer Reinraumumgebung durchführen kann. Es bietet eine präzise und wiederholbare Positionierung von Wafern und eignet sich für die Integration in andere Wafer-Fertigungsanlagen und -systeme.