Gebraucht ASYST LPI 2200 #9094285 zu verkaufen

ASYST LPI 2200 ist ein Wafer-Handler für den Einsatz in der kommerziellen und Forschungsebene Halbleiterbauelementfertigung. LPI 2200 verfügt über einen Doppelendkassettenlader, der bis zu 30 Wafer gleichzeitig in 6-, 8- und 12-Zoll-Standardformaten (150-, 200- und 300mm) verarbeiten kann. Der Lader verfügt über unabhängige Kassettenkupplungen und Wafer Timeout Interlock für einfachen und sicheren Wafertransport ohne Beschädigung. ASYST LPI 2200 Handler bietet auch eine geschlossene Schleife Wafer Klemme Ausrüstung, die verstellbar ist und bietet Positionsstabilität mit einem einzigartigen und proprietären Mechanismus, der Wafer Rutschen verhindert. Dieses Klemmensystem eignet sich entweder für den Einsatz mit Standard-Kanten- oder Notch-Center-Handling und verfügt über eine patentierte Klemmarmkonfiguration, die den Kantenkontakt am Wafer minimiert. Darüber hinaus verfügt LPI 2200 über eine temperaturgeregelte Umgebung mit HEPA-Filtern zur Vermeidung von Kontaminationen. Andere Eigenschaften von ASYST LPI 2200 schließen eine Hochleistungsoblatentransporteinheit ein, die zu bewegenden Oblaten mit Geschwindigkeiten bis zu 500mm/sec und einer Vakuumerholung für elektrostatisch-empfindliche Geräte fähig ist. LPI 2200 wird auch mit unabhängigen thermischen und Klemmhöhensteuerungssystemen ausgestattet, um eine ordnungsgemäße Handhabung und Positioniergenauigkeit des Wafers zu gewährleisten. Darüber hinaus trägt das ultraschwingungsarme Design dazu bei, ein vibrations- und störungsfreies Handling zu gewährleisten. In puncto Sicherheit ist ASYST LPI 2200 mit einer Sicherheitsverriegelungsmaschine und ausfallsicherer Software aufgebaut, die Fehlhandlungen verhindert und eine sichere Prozesskontrolle gewährleistet. Darüber hinaus ist LPI 2200 für jedes gängige automatische Prozesswerkzeug ausgelegt und ermöglicht den Plug-and-Play-Betrieb. Darüber hinaus ist ASYST LPI 2200 hocheffizient und verfügt über eine fortschrittliche statistische Prozesskontrolle (SPC) für High-End-Wafer-Handling-Optimierung. Insgesamt ist LPI 2200 eine leistungsstarke und zuverlässige Wafer-Handling-Lösung, die den Anforderungen sowohl kommerzieller als auch forschungsorientierter Halbleiterhersteller gerecht wird. Mit Funktionen wie einem integrierten Doppel-Endkassettenlader, einem geschlossenen Wafer-Klemmwerkzeug, einer unabhängigen Thermo- und Klemmhöhensteuerung und einem High-Speed-Wafer-Transportmittel sorgt ASYST LPI 2200 für ein sicheres, schnelles und präzises Wafer-Handling. Darüber hinaus ermöglicht die erweiterte SPC-Fähigkeit und das Safety-Interlock-Modell es Benutzern, mehrere Parameter für die gewünschte Prozessoptimierung einzustellen und zu steuern.