Gebraucht ASYST LPI 2200 #9277986 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
ASYST LPI 2200 ist ein Spitzen-Roboter-Wafer-Handler. Es ist für schnelles, zuverlässiges und präzises Wafer-Handling ausgelegt. LPI 2200 wurde entwickelt, um mehrere Anwendungen in nassen und trockenen Verarbeitungssystemen zu bewältigen. Zu den Merkmalen gehören automatisiertes Wafer Handling, automatisiertes Be- und Entladen von Kassetten/Booten, Ladeschloßstation sowie Antriebs- und Transportfähigkeit. Die Basis von ASYST LPI 2200 besteht aus einem robusten mechanischen Rahmen, in dem Roboterarm, Netzteile und seine einzigartige Antriebs- und Fördereinheit untergebracht sind. Diese Funktion hilft der Ausrüstung, eine hohe Wiederholbarkeit und Genauigkeit aufrechtzuerhalten, wenn der Roboter Arbeitsabläufe ausführt. Der Roboterarm des Geräts ist mit Force Sensitive End-Effectern (FSEEs) ausgestattet, die eine präzise Handhabung von Wafern ermöglichen. Der Arm ist mit 4 Freiheitsgraden ausgestattet, was bedeutet, dass er je nach Bedarf erreichen, drehen, kippen und kippen kann. LPI 2200 verwendet ein flexibles Fördersystem, um Wafer schnell zwischen seiner Load-Lock-Station und einer vom Kunden mitgelieferten Kassette oder einem Boot zu transportieren. Die Fördereinheit hilft auch, dem Roboter die präzise Bewegung der Wafer von Station zu Station zu ermöglichen. Das gesamte Antriebswerkzeug der Maschine ist mit einem fortschrittlichen Servomotor und einem Encoder ausgestattet, um eine wiederholbare und genaue Sortiergenauigkeit zu gewährleisten. Die Load-Lock-Station von ASYST LPI 2200 ist darauf ausgelegt, Wafer schnell und sicher von den Kassetten oder Booten zum Roboterarm zu bewegen. Die Station ist mit einem intelligenten Wafer-Identifikationsmodell ausgestattet, das es dem Roboter ermöglicht, den Wafer vor dem Be- und Entladen leicht zu identifizieren. Die Load-Lock-Station ist auch in der Lage, bis zu zwei Kassetten oder zwei Boote gleichzeitig zu handhaben, während ihre Druckregeleinrichtung hilft, Schäden an den Waferstellen beim Be-/Entladen zu verhindern. Zusammenfassend ist LPI 2200 ein zuverlässiger, präziser und hochflexibler Wafer-Handler, der in einer Vielzahl von Prozessen eingesetzt werden kann. Das Gerät ist mit einem robusten mechanischen Rahmen, einem ausgeklügelten Roboterarm, einem Fördersystem und einer Load-Lock-Station ausgestattet, die ein schnelles und effizientes Wafer-Handling ermöglicht. Die erweiterte Servomotor- und Encodereinheit verfeinert die Positioniergenauigkeit des Wafers weiter. ASYST LPI 2200 ist eine zuverlässige und effiziente Lösung für Wafer-Handling-Anforderungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor