Gebraucht ASYST LPO 2200 #293630337 zu verkaufen

ASYST LPO 2200 ist ein Wafer-Handler für die Halbleiter-Wafer-Verarbeitung, entworfen, um die strengen Anforderungen der modernsten Halbleiterherstellungsprozesse zu erfüllen. Dieser Wafer-Handler wurde entwickelt, um den Prozessfluss und den Durchsatz zu verbessern und gleichzeitig höchste Flexibilität bei der Ausrüstung zu gewährleisten. LPO 2200 ist in der Lage, Wafer von bis zu zwölf Zoll Durchmesser mit einer maximalen Tragfähigkeit von bis zu 700 Kilogramm zu übertragen. Der Handler ist mit einer langlebigen einheitlichen Doppelverriegelungsstruktur, mit zwei hochpräzisen Führungsschienen und einem integrierten federbelasteten Wafer-Handhabungsarm ausgestattet, wodurch er im Betrieb extrem vielseitig einsetzbar ist, da er leicht an verschiedene Wafergrößen und -formen angepasst werden kann. ASYST LPO 2200 verfügt über ein integriertes Steuerungssystem, das eine einfache Steuerung des Wafer-Handlingarms ermöglicht und die Lieferung und den Empfang von Daten aus externen Quellen ermöglicht. Das Gerät nutzt eine bewährte Servotechnologie mit hochpräziser Encoder-Rückkopplung, um eine präzise Ausrichtung des Wafer-Handhabungsarms bezogen auf die Waferoberfläche zu gewährleisten. LPO 2200 umfasst eine integrierte Wafer-Nivelliermaschine, die den Winkel des zu bearbeitenden Wafers überwacht und eine gleichmäßige Ausrichtung des bearbeiteten Wafers auf Geräteebene gewährleistet. Diese Steuerung ist für fortgeschrittene Prozesse wie die chemisch-mechanische Planarisierung entscheidend, da sie gewährleistet, dass die bearbeitete Oberfläche gleichmäßig und schräg bleibt. Der Handler ist außerdem mit einem Wärmeschutzwerkzeug ausgestattet, das durch eine längere Belastung durch hohe Temperaturen während der Bearbeitungsstufen vor Waferüberhitzung schützt. Der Wärmeschutz ist in der Lage, auf Veränderungen der Wafertemperatur in Millisekunden zu reagieren, um eine weitere Beschädigung des Wafers zu verhindern. Schließlich ist ASYST LPO 2200 mit einem fortgeschrittenen Vision-Modell ausgestattet, das alle möglichen Abweichungen zwischen der tatsächlichen Waferposition und der gewünschten Position des Wafers erkennen soll. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass die eingeleiteten Prozesse korrekt auf die Waferoberfläche ausgerichtet sind und etwaige Risiken von minderwertigen Prozessergebnissen vermieden werden. Abschließend ist LPO 2200 ein leistungsstarker Wafer-Handler für die Halbleiterverarbeitung, der Wafer bis zu zwölf Zoll Durchmesser mit einer maximalen Tragfähigkeit von bis zu 700 Kilogramm übertragen kann. Das Gerät ist mit einer langlebigen Doppelverriegelung und integrierten Steuergeräten ausgestattet, während das integrierte Wärmeschutzsystem und die Vision-Einheit höchste Maschinengenauigkeit, Qualität und Zuverlässigkeit garantieren.