Gebraucht ASYST LPT 2200 #293729427 zu verkaufen
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ID: 293729427
Weinlese: 2013
Standard Mechanical Interface (SMIF) loader
2013 vintage.
ASYST LPT 2200 ist ein von ASYST Technologies entwickelter Wafer-Handler, der Halbleiterscheiben mit ausgezeichneter Präzision und Geschwindigkeit verarbeitet. Dieser automatisierte Handler ist vielseitig genug, um eine Vielzahl von Wafern bis zu 8-Zoll-Größe zu handhaben, von der traditionellen Siliziumscheibe bis hin zu fortschrittlichen und anspruchsvollen Materialien wie Saphir oder III-V. Der Roboterarm von ASYST LPT2200 kann programmiert werden, um den Wafer während der Verarbeitung zu drehen, zu bewegen und genau zu positionieren. Um höchste Genauigkeit zu gewährleisten, verfügt der Handler über eine anspruchsvolle Transportausrüstung, die Hochgeschwindigkeits-Servomotoren und eine präzise Linearführung umfasst. Darüber hinaus kann die Fähigkeit des LPT 2200, sowohl Mono- als auch Multi-Wafer-Chargen zu handhaben, den Durchsatz im Vergleich zu anderen Maschinen deutlich erhöhen. Darüber hinaus ist der Handler für die einfache Integration in Halbleiterbearbeitungswerkzeuge sowie Träger, Transfer und Kassetten ausgelegt. LPT2200 ist mit fortschrittlichen Lasersensorsystemen ausgestattet, die die Temperatur, die Kassettenposition und die Waferpositionen des Wafers bei 0,0001 Zoll Genauigkeit überwachen. Die Sensoren ermöglichen einen effizienteren Handhabungsprozess und vermeiden eventuelle Beschädigungen des Wafers durch präzise Steuerung der erforderlichen Kopfgeschwindigkeit, Ausrichtung und Zentrierung des Handlers. Darüber hinaus ermöglicht die integrierte Vision-Einheit eine verbesserte Flexibilität bei der Positionierung, Inspektion und Ausrichtung verschiedener Oberflächentypen beim Be- und Entladen von Wafern. ASYST LPT 2200 bietet auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, die eine versiegelte Kammer, eine verschlüsselte Tür und einen Not-Aus-Knopf umfassen, der hilft, eine sichere Umgebung zu gewährleisten und gleichzeitig anspruchsvolle Wafer-Handhabungsoperationen durchzuführen. Dank optimiertem Maschinendesign und zuverlässiger Software sind die Bediener in der Lage, die gesamten Prozess- und Steuerungsausführungsparameter, Diagnosen und Leistung einfach zu überwachen. Damit ist ASYST LPT2200 eine ideale Lösung für die Qualitätssicherung und Prozesssteuerung in einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen.
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