Gebraucht ASYST LPT 2200 #9221773 zu verkaufen

ASYST LPT 2200 ist ein vollautomatischer Wafer-Handler, der entwickelt wurde, um 350mm, 300mm und 200mm Wafer zwischen Halbleiterverarbeitungswerkzeugen zu transportieren und zu manipulieren. Das Gerät wird mit einem Galil Motion Controller, zwei harmonischen Laufwerken und einem hochauflösenden, PB-freien linearen Encoder gebaut. Sein geringer Platzbedarf und sein optimiertes Design ermöglichen es, in Reinraumumgebungen zu arbeiten und gleichzeitig den hohen Durchsatz und die erforderliche Präzision für komplexe Halbleiteranwendungen zu bieten. Die Hauptfunktionen der ASYST- LPT2200 sind das Zweifache: Trägerübertragung und Zwischenraumausrichtung. Alle zwei der vier bearbeitenden Bay Ports sind durch die X-Y-Achse und die Drehstufen des Systems submikrongenau positioniert, so dass Wafer schnell zwischen den Inspektions- und Verarbeitungsanschlüssen bewegt werden können. Die lineare Staging-Einheit ermöglicht auch Waferaustausch von Schacht zu Schacht und von den Magazinanschlüssen, so dass sich die Maschine für eine Vielzahl von Operationen konfigurieren kann. Das Tool verfügt über eine Vielzahl von Sicherheitsfunktionen, die menschliche Fehler beseitigen und die empfindlichen Wafer vor potenziell beschädigenden Ereignissen schützen sollen. Dazu gehören eine integrierte Vision Asset und Kollisionserkennungssensoren, die Bewegung im Falle einer Behinderung verhindern. Darüber hinaus ist LPT 2200 in der Lage, eine Vielzahl von Fehlerdiagnosen durchzuführen und kann in anlagenweite Architekturen zur umfassenden Überwachung und Steuerung integriert werden. Das Modell enthält auch eine Vielzahl von automatisierten Reinigungsprozessen, die jeden der vier Buchtanschlüsse mit einer Reinigungslösung und komprimiertem Stickstoff bei Bedarf ablassen und spülen. Ergänzt durch eine deionisierte Wasserumwälzanlage gewährleistet dies die langfristige Zuverlässigkeit des Systems und reduziert die Anzahl der manuellen Reinigungen, die sonst für Wartung und Wartung notwendig sind. Schließlich verfügt LPT2200 über einen langlebigen, ergonomisch gestalteten Rahmen, der in einem PPC-Gehäuse untergebracht ist und somit für den Einsatz in einer Vielzahl von Anlagenkonfigurationen und Arbeitsumgebungen geeignet ist. Es enthält auch eine Vielzahl von hochwertigen Motoren, Verstärker, und Elektronik, die entworfen sind, um Geräusche und Wärmeentwicklung zu minimieren. Zusammen mit seiner intuitiven, benutzerfreundlichen Steuerungssoftware ist ASYST LPT 2200 eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Halbleiterverarbeitungsanwendungen.