Gebraucht ASYST LPT 2200 #9384482 zu verkaufen

ASYST LPT 2200 ist ein äußerst zuverlässiger Wafer-Handler, der sowohl 200mm als auch 300mm Halbleiterscheiben in Reinraumumgebungen transportieren und genau positionieren kann. Die Vorrichtung besteht aus zwei Hauptkomponenten; den Wafer-Transportschnittstellenschrank, der das Pflücken und Aufsetzen von Wafern auf eine Wafer-Schale steuert, und das Wafer-Transportteilsystem, das den Mechanismus, der die Wafer-Transportstufe antreibt, sowie Temperatur-, Feuchte- und Partikelüberwachungsgeräte aufnimmt. ASYST LPT2200 verwendet einen elektrisch angetriebenen Schrittmotor, eine riemengetriebene, programmierbare Mikrostufe sowie ein dreiachsiges, geschlossenes Joystick-Steuersystem, um Wafer innerhalb des Geräts genau zu positionieren. Das Gerät ist auch mit einem programmierbaren Positionierer, mit Empfindlichkeiten von 1,26 um bis 5 um und mit einer Wiederholbarkeit von +/- 2,5um ausgestattet, was zu einer sehr genauen und genauen Positionierung von Wafern bei Gebrauch des Geräts führt. LPT 2200 wurde entwickelt, um Wafer in Tablettgrößen von 4 „bis 9“ oder 200mm und 300mm Wafer mit einer Haltekapazität von bis zu 6 Wafern gleichzeitig transportieren zu können. Es ist auch für zwei Wafer-zu-Wafer-Konfigurationen konzipiert, die eine einfache Übertragung von Wafern von Fach zu Fach ohne manuellen Eingriff ermöglichen. Die Vorrichtung enthält auch ein elektropneumatisches Trennventil, das als Luftschild zwischen verschiedenen Prozesseinrichtungen fungiert. Dieser Luftschild hilft, Kontaminationen zu verhindern, indem er eine saubere und kontrollierte Umgebung bereitstellt, in der das Gerät arbeiten kann. Darüber hinaus wurde das Gerät speziell für den Betrieb bei einer maximalen Temperatur von 41 ° C und einer Feuchtigkeit von 20-60% entwickelt. Dies bedeutet, dass es für den Einsatz in einer Vielzahl von Reinraumumgebungen geeignet ist und sogar in explosionsgefährdeten Bereichen wie Reinräumen der Klasse 10 und Klasse 100 eingesetzt werden kann. Abschließend ist LPT2200 ein äußerst zuverlässiger und präziser Wafer-Handler, der sich perfekt für den Einsatz in Reinräumen und anderen hochpräzisen Umgebungen und Anwendungen eignet. Mit seiner dreiachsigen Steuerung, Temperatur, Luftfeuchtigkeit und Partikelüberwachung sowie seiner riemengetriebenen, programmierbaren Mikrostufe und dem elektropneumatischen Trennventil ist es darauf ausgelegt, Halbleiterscheiben zu transportieren und genau zu positionieren und eine überlegene Leistung zu bieten.