Gebraucht ASYST / PST 100 #27562 zu verkaufen
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ID: 27562
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Wafer metrology sorters, 8"
(2) ASYST SMIF Indexers
Open cassette plate
Equip robot
Robot controller
Aligner / Controller
Upgraded end-effector
PC Controller
FT-LCD Display unit
Keyboard
Mouse / Trackball
1996 vintage.
ASYST/PST 100 Wafer Handler ist eine High-Speed-Wafer Handhabung Ausrüstung entwickelt, um Wafer effizient von einem Prozesspunkt zum anderen in einer automatisierten Halbleiterherstellung Umgebung zu bewegen. Das System besteht aus einer industrietauglichen motorisierten Plattform, einem Lastanschluss, einem Werkzeugrahmen und einer elektrischen Steuerung. Die motorisierte Plattform ist 360 Grad drehbar und ermöglicht den Zugang zu allen Achsen der Einheit. Auf der Plattform verbindet sich der Lastanschluss mit dem Werkzeugrahmen und bietet einen stark abgeschirmten Arbeitsraum für die Bearbeitung von Wafern. Die elektrische Steuerung erleichtert die automatisierte Kommunikation zwischen der motorisierten Plattform, dem Lastanschluss und allen anderen Peripheriegeräten. Die motorisierte Plattform verwendet eine effiziente Verzahnung, um leicht bewegliche Wafer von einem Ort zum anderen zu bewegen, während der Lastanschluss eine hoch abgeschirmte Umgebung bietet, in der Verschmutzungen und/oder elektrische Störungen verhindert werden. Die Plattform hat einstellbare Geschwindigkeiten von 0 bis 200 mm/s, um allen Transferbedürfnissen gerecht zu werden. Beispielsweise sind Hochgeschwindigkeitsübertragungen möglich, wenn Hochgeschwindigkeits-Prozessschritte vorhanden sind, während langsamere Geschwindigkeiten gewählt werden können, wenn empfindliche Prozesse erforderlich sind. Das einstellbare Geschwindigkeitsmerkmal ist ein Schlüsselelement von PST 100, mit dem Benutzer die Maschine an ihre eigenen Prozesse anpassen können. Der Werkzeugrahmen von ASYST PST100 durch ein Paar Verriegelungsklemmen an der Plattform befestigt und verfügt über eine Standardschnittstelle für eine Vielzahl von Endeffektoren. Der Rahmen ist verstellbar und leicht konfigurierbar, so dass mehrere Positionen und Gerätetypen möglich sind. Es enthält auch eingebaute Sicherheitsfunktionen, die sicherstellen, dass Wafer immer sicher und sicher gehandhabt werden. Darüber hinaus umfasst PST100 eine elektrische Steuerung, die mit der motorisierten Plattform, dem Lastport und allen anderen Peripheriegeräten integriert wird, um die automatisierte Kommunikation zu erleichtern. ASYST 100 ist die perfekte Lösung für die Verarbeitung von Wafern mit hohem Durchsatz. Mit seiner effizienten Geschwindigkeit und den einstellbaren Eigenschaften ist es in der Lage, jede Produktionslinie mit Leichtigkeit zu handhaben. Seine Fähigkeit, an eine Vielzahl von Prozessanforderungen angepasst werden, macht es sehr kompatibel mit bestehenden Fertigungslinien Systeme. Das Werkzeug hat sich als zuverlässig beim Arbeiten mit mehreren Wafern erwiesen und kann durch den Verzicht auf manuelle Handhabung die Kosten erheblich senken. PST PST100 nutzt auch fortschrittliche Sicherheitsfunktionen und ist damit eine ideale Lösung für ein effizientes und sicheres Wafer-Handling.
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