Gebraucht ASYST / PST SPARTAN #293652724 zu verkaufen

ASYST/PST SPARTAN ist ein Wafer-Handler für den Einsatz in der Halbleiterherstellung. Es ist mit einer Reihe von automatisierten Funktionen zum Be- und Entladen, Reinigen, Ausrichten und sogar Schneiden von Wafern ausgestattet. Das Gerät kann in manuellen, halbautomatischen und vollautomatischen Modi verwendet werden. Im manuellen Modus kann der Handlerträgerarm in jede beliebige Position innerhalb seines Arbeitsbereichs bewegt werden. Die Waferträger sind in der Trägerplatte verriegelt, und das Gerät erkennt und orientiert den Wafer automatisch relativ zur Montagefläche. Es wurde entwickelt, um großformatige (300mm), kleinformatige (50mm) und keramische (keramische) Wafer zu unterstützen. Mit einem speziellen Hochgeschwindigkeitslader und Entlader kann das System bis zu drei Wafer gleichzeitig laden und entladen. Die Lader und Entlader können automatisiert werden, um den Durchsatz unter Beibehaltung der Waferorientierung und des Abstandes zu optimieren. Der Handler verfügt auch über eine Wafer-Reinigungsstation, die Ultraschall- und chemische Reinigungsprozesse verwendet, um Oberflächenverunreinigungen von Wafern vor der Handhabung zu entfernen. Zur Entfernung von Partikeln von Waferoberflächen wird ein Kohlenwasserstoff-Vakuumstab eingesetzt. Die Wafer werden dann durch einen Stickstoffplasmareiniger geleitet, um die Oberflächen für beste Handhabungsergebnisse weiter zu reinigen. Andere verfügbare Operationen umfassen Laserbilderkennung für genaue Ausrichtung von Wafern im Handler, Messerschneider zum Schneiden von Kerben in Standard- und kundenspezifische Formen und Drucknocken, um Druck auf Wafer auszuüben. PST SPARTAN Wafer Handler ist mit einem sehr zuverlässigen und robusten Design entwickelt, um einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Es ist in der Lage, bis zu 150 Wafer auf seiner Trägerplatte aufzunehmen. Es enthält auch eine 4 Step Safety Lock Einheit, um mögliche Wafer Handhabungsfehler zu begrenzen. Der Wafer-Handler enthält auch Berichte und Auftragsdateien, die entweder gedruckt oder zur Nachverfolgung und Analyse auf einen Computer hochgeladen werden sollen. Zusammenfassend ist ASYST SPARTAN ein fortschrittlicher Wafer-Handler, der für Produktionsabläufe mit hohem Durchsatz entwickelt wurde. Es ist mit einer Reihe von automatisierten Funktionen zum Be- und Entladen, Reinigen, Ausrichten und sogar Schneiden von Wafern ausgestattet. Das Gerät ist auch mit einer 4-Step Safety Lock-Maschine konfiguriert und umfasst eine Wafer-Reinigungsstation, ein Laser-Bilderkennungswerkzeug, ein Messerschneider und Drucknocken. Das Gerät unterstützt großformatige (300mm), kleinformatige (50mm) und keramische (keramische) Wafer und verfügt über zuverlässige Sicherheitsmerkmale für den Einsatz in den anspruchsvollsten Halbleiterherstellungsumgebungen.