Gebraucht ASYST / PST SPARTAN #293652726 zu verkaufen

ASYST/PST SPARTAN ist ein Wafer-Handler, der Anwendungen unterstützt, die hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit erfordern. PST SPARTAN ist in zwei Varianten erhältlich, die den Roboter (motorgetriebenes Shuttle) und den Handler (Prozessorkammer, Leistung, Steuerung und Sensoren) trennen. Diese Produktpalette eignet sich für eine Vielzahl von Prozessen und Temperaturen, von niedrig (< 100C) bis hoch (> 400C), mit einer breiten Palette von Fähigkeiten wie mehrstufiges Waferbeladen und Entladen, Wafersortierung und Wafer-Rückseitenreinigung. Das Design des ASYST SPARTAN Wafer Handlers ist kompakt und effizient. Es verfügt über eine stationäre Handlerbasis und einen flexiblen, modularen Aufbau, der einfach zu aktualisieren und zu installieren ist. Der modulare Hardware-Aufbau ermöglicht strukturelle Integrität und ein langfristiges Wartungsprogramm, das eine zuverlässige, stabile Plattform für die Waferbearbeitung und -handhabung bietet. Darüber hinaus bietet seine Steuerungsarchitektur eine robuste Integration von Bewegungs-, Prozess- und Sensor-Subsystemen und ist damit eine geeignete Lösung für Anwendungen, die während des Prozesses eine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit erfordern. SPARTAN Wafer Handler ist sehr gut in der Lage, eine breite Palette von Substraten und Größen, einschließlich 300mm und 200mm Wafer, sowie eine Vielzahl von Spezialsubstraten. Es unterstützt eine Vielzahl von Werkzeughandhabungsoperationen wie die Platzierung, Abholung und Sortierung. Dies wird durch den Einsatz einer Vakuumausrüstung und deren Realisierung einer Wafer-Reisekarussell-Plattform erreicht. Das System ist so konzipiert, dass es hohe Genauigkeit und Zuverlässigkeit bietet, da es eine Regeleinheit verwendet, die die Position des Wafers im Shuttle und Rückkopplungen zur Handlerbasis mit hoher Präzision überwacht. Es stehen erweiterte Sicherheitsfunktionen zur Verfügung, die das Risiko eines Schadens für Personal und Ausrüstung minimieren. Zu diesen Sicherheitsmerkmalen gehören Endschalter, eine E-Stop-Taste und eine dreidimensionale Positionssicherheitsmaschine. ASYST/PST SPARTAN Wafer Handler ist für eine breite Palette von Anwendungen in der Lage und wird garantiert komplette Wafer-Verarbeitung Unterstützung bieten. Seine Eigenschaften ermöglichen es, eine Vielzahl von Substraten, Größen und Temperaturen sowie ein stabiles Wafertransportwerkzeug mit wiederholbarer Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu handhaben. Es ist auch einfach zu bedienen und einzurichten, so dass es eine gute Wahl für Kunden, die nach hochwertigen, kostengünstigen Wafer-Handling-Systemen suchen.