Gebraucht ASYST / PST SPARTAN #293671321 zu verkaufen

ASYST / PST SPARTAN
Hersteller
ASYST / PST
Modell
SPARTAN
ID: 293671321
EFEM Wafer sorter.
ASYST / PST-SPARTANER ist eine, Hochleistungsmehrfunktionsoblatenberührenausrüstung, die für automatisierten Halbleiter, flache Tafelnanzeige und andere fortgeschrittene Technologieanwendungen entworfen ist. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafergrößen zu handhaben und ist mit fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, die hohe Geschwindigkeit sowie Präzision und Wiederholbarkeit für fortgeschrittene Anwendungen mit hohem Volumen bieten. PST SPARTAN besteht aus vier Hauptkomponenten: einem Host-Modul, einem Karussell-Modul, einem Front-End-Förderer und einem Back-End-Förderer. Das Host-Modul ist für die Automatisierungssteuerung und Kommunikation zwischen den anderen Modulen des Systems zuständig und umfasst eine programmierbare Logiksteuerung (SPS). Das Karussellmodul beherbergt die Lagerung der Wafer und kann bis zu 50 Wafer gleichzeitig aufnehmen. Der Front-End-Förderer bewegt Wafer schnell und präzise, mit Sensoren, die potentielle Störungen erkennen, während der Back-End-Förderer ausgelegt ist, um die Wafer mit einer Rate von bis zu 600 Wafern pro Stunde zu entladen. ASYST SPARTAN ist mit einer Reihe fortschrittlicher Funktionen ausgestattet, die eine schnelle Handhabung von Wafern ermöglichen. Eine integrierte Vision-Einheit ermöglicht eine Echtzeit-Wafer-Manipulation und Führung am Frontend-Förderer, während kundenspezifische Sichtprüfungen für die prozessinterne Inspektion und Analyse in die Maschine integriert werden können. Das Werkzeug ist auch in der Lage Durchlaufprüfungen zur optischen und funktionalen Oberflächenkennzeichnung durchzuführen. Darüber hinaus ist das Karussellmodul so konzipiert, dass Videos während des Prozesses parallel geladen und entladen werden können. Die beweglichen Teile von SPARTAN werden durch eine Kombination aus Führungsschraube und Präzisionskugelschrauben angetrieben, um eine reibungslose Bewegung und eine hohe Genauigkeit zu erreichen. Eine fortschrittliche Kühlung hält das gesamte Modell in einem eng abgestimmten Temperaturbereich für optimale Leistung, Zuverlässigkeit und Lebensdauer. ASYST/PST SPARTAN ist eine hochflexible und skalierbare Ausrüstung, die bis zu 200 Wafer gleichzeitig bedienen kann. Seine mehrfachen erweiterten Funktionen machen es zu einer großen Wahl für hochvolumige, automatisierte Halbleiter, Flachbildschirm und andere fortschrittliche Technologieproduktion.
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