Gebraucht ASYST / PST SPARTAN #293798452 zu verkaufen

Hersteller
ASYST / PST
Modell
SPARTAN
ID: 293798452
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2007
EFEM Wafer sorter, 12" (3) Ports 2007 vintage.
ASYST/PST SPARTAN ist ein von der Firma Pacific Technical Products entwickelter Wafer-Handler, der für die automatisierte Handhabung von Halbleiterscheiben verwendet wird. PST SPARTAN ist ein vielseitiges Werkzeug, das sich gut für den Einsatz in schnellen Produktions- und Prototypenbereichen sowie in Laboranwendungen eignet. ASYST SPARTAN ist für die Handhabung von 200m- und 300mm-Wafern sowie von Mehrfachkassetten, kassettenlosen Anwendungen und FOUPs konzipiert. Es verfügt über einen Top-Laderoboter zum Übertragen von Wafern zu und von der vorderen Öffnung Unified Pod (FOUP) Aufbewahrungsboxen. Es hat auch eine Autoladestation, wo Wafer direkt aus ihren Kassetten auf den Roboter geladen werden können. SPARTAN verfügt zudem über ein integriertes Roboter-Handling-System und einen modularen Aufbau, der an eine Vielzahl von Anwendungen angepasst werden kann. Es umfasst fünf unabhängige Betriebsmodi: Einzelwafer, Massentransfer, Speichern/Abrufen, Scannen/Sortieren und Werkzeug-zu-Werkzeug-Übertragung. Im Einzelwafer-Modus werden Wafer einzeln behandelt und können zwischen Bearbeitungswerkzeugen oder Speicherpads geladen, vorjustiert und verschoben werden. Im Bulk-Transfer-Modus kann der Roboter bis zu fünf Wafer gleichzeitig von einem Ort zum anderen übertragen. Dieser Modus ist ideal für die schnelle Handhabung von Wafern für schnellen Durchsatz oder Prototyping. Im Speicher/Abruf-Modus können Wafer in einem Speichersteckplatz gespeichert und bei Bedarf abgerufen werden. Im Scan-/Sortiermodus können Wafer in mehreren Orientierungen gescannt und nach bestimmten Kriterien sortiert werden. Der Werkzeug-zu-Werkzeug-Transfermodus ermöglicht eine effiziente Bewegung von Wafern zwischen zwei oder mehr verschiedenen Bearbeitungswerkzeugen. ASYST/PST SPARTAN bietet auch eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) mit webbasiertem Fernzugriff. Es ermöglicht Benutzern, den Fortschritt des Roboters leicht zu überwachen und Probleme zu beheben, die auftreten können. Die GUI liefert zudem aktuelle Informationen zur Waferpositionsgenauigkeit und intelligenten Waferbearbeitungsstatistiken. Insgesamt bietet PST SPARTAN eine zuverlässige und benutzerfreundliche Lösung für die automatisierte Handhabung von Halbleiterscheiben. Mit seinem modularen Aufbau und mehreren Betriebsarten bietet es ein effizientes und vielseitiges Werkzeug für schnelle Produktions-, Prototypen- und Laboranwendungen.
Es liegen noch keine Bewertungen vor