Gebraucht ASYST / PST SPARTAN #9247586 zu verkaufen

ASYST / PST SPARTAN
Hersteller
ASYST / PST
Modell
SPARTAN
ID: 9247586
EFEM Wafer sorter Includes: Datum structure Mini-environment Wafer engine End effector Load port Aligner Front electrical enclosure Bridge tool option ASYST EG-300B Edge grip buffered wafer aligner Accurate alignment: Wafer centering: +/- 0.05mm Notch angle: +/- 0.075 deg Wafer buffer function: Minimize robot idle time Integrated OCR cameras: Top and/or bottom read Vacuum 80 kPa.43 L/mins 10mm Flex tube comptabile with SMC one touch fitting Ethernet: RJ-45 Connection Electrical requirements: 120 VAC, 15 Amp circuit, 10 Amps full load.
ASYST/PST SPARTAN ist ein leistungsstarker Wafer-Handler für die Halbleiterindustrie. Es ist eine automatisierte Wafer-Transportausrüstung, die entwickelt wurde, um Halbleiterscheiben genau zu bewegen, zu drehen und zu transportieren, mit minimalen Schäden und geringer Gesamtverarbeitungszeit. PST SPARTAN Wafer Handler ist in der Lage, bis zu 12 Wafer zu transportieren und sie von einer Prozessstation zur anderen mit punktgenauer Genauigkeit zu bewegen. Das Wafertransportsystem verwendet zwei Stufen und die Fähigkeit, Wafer von beiden Ebenen gleichzeitig aufzunehmen und zu bewegen. Die Bewegung von Wafern basiert auf dem Einsatz der bürstenlosen linearen Servotechnologie und bietet eine hohe Präzision, zuverlässige, ruck- und ruckfreie Positionierung. Es verwendet auch eine Encodereinheit, die eine präzise und wiederholbare Bewegung in der X-, Y- und R-Achse der Waferorientierung gewährleistet. ASYST SPARTAN ist so konzipiert, dass es über seine Lebensdauer praktisch wartungsfrei und äußerst zuverlässig ist. Es ist einfach zu installieren, mit einer robusten Scanmaschine, die Wafer Blasen oder Kantenchips erkennt und verhindert, dass der Handler den Wafer aufnimmt. Der Wafer-Handler verfügt über Software für schnelles Job-Setup und flexible Programmierung, um komplexe Rezepte schnell auszuführen. SPARTAN Wafer Handler ist mit einem antistatischen, kratzfesten Schild ausgestattet, um Wafer vor statischer Elektrizität und Kratzern zu schützen. Darüber hinaus ist das Gehäuse so konzipiert, dass Staubpartikel und andere Abfälle aus der Umgebung davon abgehalten werden, auf die Waferoberfläche anzuziehen, wodurch ihre Lebensdauer verlängert wird. Das integrierte fehlertolerante Tool kann Probleme identifizieren, analysieren und beheben, so dass höchste Leistung und fehlerfreier Betrieb gewährleistet sind. Es enthält auch benutzerfreundliche Bedienelemente und farbcodierten Touchscreen für einfachen Zugriff und Bedienung. ASYST/PST SPARTAN Wafer Handler ist entworfen, um menschliche Arbeit zu beseitigen und die Produktivität in der Halbleiterindustrie zu erhöhen. Es ist eine robuste, zuverlässige und kostengünstige Lösung für Wafertransport- und Handling-Aufgaben. Mit seiner hohen Präzision, dem geringeren Wartungsaufwand und der intuitiven Benutzeroberfläche ist der PST SPARTAN Wafer Handler die perfekte Lösung für viele Produktions- und Laborprozesse in der Halbleiterindustrie.
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