Gebraucht ASYST / PST SPARTAN #9254166 zu verkaufen

ASYST/PST SPARTAN ist ein leistungsstarker Wafer-Handler zur Automatisierung von Halbleiterherstellungsprozessen. Es ist ein Allzweck-Wafer-Handling-Roboter, der für den Einsatz in der Halbleiterherstellung, Test- und Montagelinien entwickelt wurde und zur Handhabung von Wafern, Würfeln und anderen Komponenten verwendet wird. PST SPARTAN besteht aus einer Reihe von Komponenten, darunter ein Hauptrahmen, ein Wafer Pick/Place Revolver, ein Open Cassette Interface (OCI), ein Open Tube Interface (OTI), ein Stand-Alone Chamber Interface (SACI), ein Arm Interface (AIA), ein Arm Drive und Der Hauptrahmen besteht aus einem Metallrahmen mit integriertem Pick/Place Revolver und einem 5-achsigen Roboterarm. Der Wafer Pick/Place Revolver besteht aus drei Kammerschnittstellen, einem OCI, einem OTI und einem SACI, um verschiedene Wafergeometrien und Durchmesser zu handhaben. Der 5-Achsen-Roboterarm verfügt über eine präzisionsgesteuerte X-Y-Z-Positionierstufe, die 250mm/s durchqueren kann. Zusammen mit einem einzigartigen Z-Reibungsantrieb und einer intuitiven Bewegungssteuerung ist der Roboterarm in der Lage, hochpräzise Pick/Place-Bewegungen mit Wiederholgenauigkeit von weniger als +/-25 Mikrometer durchzuführen. Die Arm Interface (AIA) verbindet den Roboterarm mit dem Hauptrahmen und liefert die zur Bewegung des Roboterarms erforderlichen Steuersignale. Der Arm Drive (ADG) ist ein kompakter Motor-Mikrometer-Antrieb, der eine genaue und wiederholbare Bewegungssteuerung bietet. Die Sub-Assembly (SA) dient zur Schnittstelle und Steuerung des Wafer Pick and Place Revolvers. Es besteht aus einer Reihe von elektronischen Platten und Komponenten, die die Herstellung von Wafer Handling Robotern ermöglichen. ASYST SPARTAN enthält auch eine Software Suite, die verschiedene Softwareanwendungen wie einen Musterverbesserer, einen Autokalibrator, einen Stufenanalysator und einen Echtzeit-Bewegungscontroller umfasst. Das Windows-basierte System ermöglicht es den Betreibern, Wafer-Handling-Systeme schnell und einfach zu konfigurieren und zu steuern sowie die Leistung der Einheit zu überwachen und auszuwerten. SPARTAN bietet eine zuverlässige und flexible Lösung für die Handhabung von Wafern und anderen Bauteilen in Halbleiterfertigungs-, Test- und Montagelinien. Mit seiner intelligenten Steuerungsmaschine und präzisen Bewegungsfunktionen ist ASYST/PST SPARTAN eine ideale Wahl für jede Halbleiterindustrie.