Gebraucht ASYST / PST SPARTAN #9255878 zu verkaufen

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Hersteller
ASYST / PST
Modell
SPARTAN
ID: 9255878
Weinlese: 2010
EFEM Wafer sorter With MATTSON Paradigme 2010 vintage.
ASYST/PST SPARTAN ist eine hochentwickelte Wafer-Handhabungsausrüstung, die entwickelt wurde, um eine automatisierte und zuverlässige Lösung für hochdichte, schnell wechselnde Wafer-Montage und elektronische Tests bereitzustellen. Sie besteht aus einem modularen Plattformgehäuse mit vier getrennten Komponenten, nämlich einem mehrachsigen Waferlader, einer segmentierten Waferstufe, einem automatisierten Waferprozessor und einem mehrachsigen Waferentlader. Mit dem mehrachsigen Waferlader werden die Wafer für den Montageprozess vorbereitet. Es verfügt über zwei einachsige Handhabungsarme in einer runden Flugbahn und eine lineare Anordnung von Roboterarmen mit direkten Verbindungen zu für eine präzise und zuverlässige Belastung der Wafer in die Waferstellen. Dies ermöglicht dem Anwender eine präzise Steuerung und Härtung der Wafer-Ladeschritte, um die Prozesseffizienz zu verbessern. Die segmentierte Waferstufe ermöglicht es, die Wafer chargenweise zu einem kontinuierlichen Prozess zu verarbeiten. Es ermöglicht die parallele Bearbeitung mehrerer Wafer, was einen hohen Durchsatz gewährleistet. Die Wafer werden durch in der Waferstufe eingebettete pneumatische Druckzylinder automatisch unter unterschiedlichem Druck positioniert. Die Wafer werden dann mit variablen Raten bearbeitet, während sie auf derselben Plattform fixiert bleiben. Der automatisierte Wafer-Prozessor ist integraler Bestandteil des Systems und ermöglicht es Benutzern, ihre gewünschten Prozessparameter zu konfigurieren. Dieser besteht aus einem erweiterten, konfigurierbaren Roboterarm, der mehrere Aufgaben ausführen kann. Der Roboterarm wird über eine integrierte Steuereinheit gesteuert und ist in der Lage, komplexe E-Test- und Montageoperationen an den Wafern durchzuführen. Schließlich hilft der mehrachsige Wafer-Entlader, die bearbeiteten Wafer anderen Zielen neu zuzuordnen. Dieses Bauteil ist in der Lage, verschiedene Wafer-Handhabungsvorgänge zu unterstützen, einschließlich Düsenentnahme, Sortierung und Nachschmierung. Darüber hinaus ist das Bauteil mit Wafer-Tonabnehmern ausgestattet, um das erneute Laden von bearbeiteten Wafern in das Lademodul und eine Vision-Maschine zu erleichtern, um eine höhere Verarbeitungsgenauigkeit zu ermöglichen. Abschließend ist PST SPARTAN ein fortschrittliches und zuverlässiges Wafer-Handling-Tool, das komplexe Montage- und E-Test-Operationen durchführen kann. Es enthält eine modulare Plattform mit vier Schlüsselkomponenten, einen mehrachsigen Waferlader, eine segmentierte Waferstufe, einen automatisierten Waferprozessor und einen mehrachsigen Waferentlader; jeder wurde für seine spezifische Aufgabe optimiert. Durch fortschrittliche Designlösungen und integrierte Steuerungssysteme bietet ASYST SPARTAN eine zuverlässige und automatisierte Lösung für hohe Dichte und schnell wechselnde Montage- und Testanforderungen.
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