Gebraucht ASYST / PST SPARTAN #9386363 zu verkaufen

ASYST/PST SPARTAN ist ein Wafer-Handler, der für automatisierte und manuelle Wafer-Handhabungsanwendungen entwickelt wurde. Diese Ausrüstung ist mit einer Reihe von Robotern und anderen Komponenten ausgestattet, um den Prozess zu erleichtern. Es kann für Prozesse wie Wafer Pick and Place, Wafer Bonding, Wafer Transfer und Wafer Singulation verwendet werden. Das automatisierte Wafer Handling System verfügt über drei Arten von Robotern: den Scara Roboter, den X-Y kartesischen Roboter und den Delta Roboter. Jede davon ist mit fortschrittlicher Steuerungstechnik ausgestattet und kann Hunderte von Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 200 Millimetern handhaben. Der Scara-Roboter ist in der Lage, mehrere Wafer gleichzeitig zu tragen, während der kartesische X-Y-Roboter in der Lage ist, feine Anpassungen vorzunehmen, um eine genaue Positionierung des Wafers während der Verarbeitung sicherzustellen. Der Delta Roboter ist ein vielseitiger Roboter und kann eine Vielzahl von Prozessen bewältigen. Das Gerät umfasst auch eine Vision-Maschine mit 3 CCD-Kameras und ein Beleuchtungswerkzeug, um Objekte zu erkennen. Dies ermöglicht es dem Asset, Muster und Formen auf dem Substrat zu erkennen und verschiedene Wafer zu identifizieren. Es dient auch als Rückgrat für das automatisierte Wafer-Handling-Modell. Die Vision-Ausrüstung ist in der Lage, Fehlerwerte an Wafern vor der Weitergabe an nachgeschaltete Prozesse zu beurteilen. Neben Robotern und Vision-Systemen verfügt das System auch über eine Vielzahl von Sensorfunktionen und Sensoren. Dazu gehören Infrarot- und Lasersensoren sowie Drucksensoren. Die Sensorfunktionen dienen dazu, Bedienern Rückmeldungen bezüglich der Position der Wafer gegenüber den Robotern und anderen Komponenten in der Einheit zu geben. Dies geschieht, um Genauigkeit und Effizienz bei der Handhabung von Wafern zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt die automatisierte Wafer-Handhabungsmaschine auch über eine Wafer-Bestückungs- und Verarbeitungseinheit. Diese Einheit enthält eine verstellbare Substratklemme und einen linearen Mikroaktor, um den Wafer genau zu bewegen und zu halten. Es gibt auch Mikroschalter und andere schaltungsbasierte Komponenten, um Signale zu erkennen und den Betrieb des Werkzeugs zu steuern. In der Tat ist PST SPARTAN ein vollautomatisches und zuverlässiges Wafer Handling Asset. Dieses Modell ist flexibel und kann an die spezifischen Bedürfnisse der Kunden angepasst werden. Es wurde entwickelt, um hohe Präzision und zuverlässige Ergebnisse bei der Waferübertragung und anderen Verarbeitungsvorgängen zu liefern. Die Ausstattung ist mit umfassenden Sicherheitsmerkmalen ausgestattet und bietet eine Komplettlösung für das automatisierte Wafer-Handling.