Gebraucht ASYST R150 9701 4314-01 #143140 zu verkaufen

ASYST R150 9701 4314-01 Wafer Handler ist eine Automatisierungskomponente, die zum Übertragen, Zuführen und Handhaben von Wafern in Halbleitermaschinen entwickelt wurde. Es verfügt über ein rotierendes Tischsystem, das die Bewegung bereitstellt, die erforderlich ist, um Halbleiterscheiben von Substrat und anderen Formen genau zu platzieren und zu entfernen. Der aufrechte Rahmen trägt ein Paar lineare Schienen und vier servo-angetriebene lineare Aktuatoren, eine pro Ecke. Diese Anordnung ermöglicht eine zuverlässige und genaue doppelreihige Winkelübertragung auf den Wafer. Der Winkel des übertragenen Wafers ist innerhalb von 90 Grad mit einer Auflösung von 0,5 Grad einstellbar. Die Steuerung des R150 erfolgt über einen intuitiven Lehranhänger. Der Lehranhänger verfügt über eine Benutzeroberfläche mit einer Vielzahl von Parametern und Datenzugriffstools. Zu den Funktionen des R150 Wafer Handlers gehören Wafer-Ausrichtung, Wafer-Rotation und Flipping sowie Wafer-Anpassung. Dieses System erreicht durch eine Kombination aus Bewegung und Feedback eine genaue Positionierung mit feiner Auflösung. Die R150 nutzt auch eine lineare Aktor-Rückkopplung. Alle Linearantriebe liefern Positionsrückmeldedaten mit einer Auflösung von 1 Mikron. Dieses fortschrittliche Feedback ermöglicht die präzise Ausrichtung verschiedener Wafergrößen und -formen. Die R150 kann in der Umgebung mit einer Temperatur von 10 ° C bis 40 ° C und einer relativen Luftfeuchtigkeit von 20% bis 80% betrieben werden. Sein Edelstahlrahmen ist mit Hochleistungsteilen konstruiert und eignet sich daher für einen dauerhaften Betrieb in einer Vielzahl von Staub und korrosiven Umgebungen, wie Halbleiterproduktionslinien. Das Gesamtdesign des R150 Wafer Handlers sorgt für einen reibungslosen Betrieb und sorgt dafür, dass alle Wafer sicher an Ort und Stelle bleiben und mögliche Schäden durch Bewegung oder Übertragung verhindern. Dadurch ist sie eine zuverlässige Lösung für hochvolumige Halbleiterherstellungsprozesse.