Gebraucht ASYST SAS 01CS #9301743 zu verkaufen
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ASYST SAS 01CS ist eine Mehrplattformenoblatenberührenausrüstung, die für die Zurückende-Prozessintegration in der Miniaturhalbleiterherstellung entworfen ist. Das System wurde für die vollständige Anpassung entwickelt und bietet die Flexibilität, das Produkt basierend auf den Kundenanforderungen zu konfigurieren und neu zu konfigurieren. SAS 01CS besteht aus drei Kernkomponenten: Application Controller, Media Box und Robot. Es basiert auf der Motion-Sequenzierungstechnologie des Unternehmens, die es dem Gerät ermöglicht, intelligente Wafer-Handling-Lösungen mit mehr Genauigkeit und Produktivität anzubieten. Der Application Controller ist das Herzstück der Maschine und bietet Intelligenz und Kontrolle der Roboteraktivitäten. Es unterstützt eine Vielzahl von Programmiersprachen, wie die Robotersprache und die Leiterlogik. Es verfügt über viele integrierte Funktionen, darunter ein Werkzeug mit variabler Geschwindigkeit für Genauigkeit und Prozesssicherheit und ein hochflexibles Planungsinstrument zur Optimierung des Roboterbetriebs. Die Komponente Media Box dient zur Lagerung und Lieferung von Kassetten und Substraten. Es ist mit einem Vier-Wege-Locator ausgestattet, um die Kassette und das Substrat genau zu positionieren, bevor es sie aufnimmt und in die Reihe der Wafertaschen platziert. Es kann Robofox und kassettenlose Substrathandhabung unterstützen. ASYST SAS 01CS Robot ist ein 6-Achsen Roboterarm, der entwickelt wurde, um präzise wiederholbare Bewegungen durchzuführen. Es hat hohe Geschwindigkeit, flexible Bewegungen durch seine Präzision Kugel-Schraube angetrieben-Modell gewährleistet. Seine Bewegungssteuerung wird durch zwei Achsen der Beschleunigungs-/Verzögerungssteuerung unterstützt. Der Roboter ist auch mit mehreren Werkzeugwechslern zur Adressierung unterschiedlicher Wafergrößen und Designs sowie einer Vielzahl von Gerätedetektoren ausgestattet. SAS 01CS ist ein sehr zuverlässiger Wafer-Handler, der für den Einsatz in dynamischen 24/7-Prozessumgebungen entwickelt wurde. Seine hohe Produktivität, erhöhte Genauigkeit, Kompatibilität mit verschiedenen Halbleiterprozessen und benutzerfreundliches Design machen es zu einer großen Wahl für Halbleiterfabriken.
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