Gebraucht ASYST SFS 01CS #9301742 zu verkaufen
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ASYST SFS 01CS ist ein fortschrittlicher Wafer-Handler, der in Prozess- und Produktionsanlagen der Halbleiterindustrie eingesetzt wird. Es wurde entwickelt, um eine schnelle und genaue Bewegung von Wafern bei der Herstellung von Halbleiterchips zu ermöglichen. Das SFS kann sowohl für den manuellen als auch für den automatisierten Betrieb verwendet werden und dient zur Unterstützung verschiedener Anwendungen wie Montage, Test, Verpackung und Reinigung. Der SFS verfügt über ein flexibles Neigungsausrüstungsdesign, das eine größere Auswahl an Winkeln ermöglicht, so dass er Wafer unterschiedlicher Größe und Dicke handhaben kann. Es kann auch mit minimaler Kraft und minimalem Energieverbrauch arbeiten, sowie hat eine geringe Reibung Konstruktion, die Wafer Schäden verhindert. Der Handler ist so konzipiert, dass er in anspruchsvolle Überwachungs- und Sicherheitssysteme wie Interlock und ESD-Schutz integriert werden kann. Das SFS nutzt eine Reihe von Funktionen, um eine optimale Bedienung wie CCD-Vision, Dual-Camera-Sensing, direkte Antriebsbewegung und einen integrierten Controller zu gewährleisten. Es verfügt über einen 150 x 150 mm Handhabungsbereich, der maximal 8 Zoll Wafer unterstützen kann und sie mit einer Geschwindigkeit von bis zu 30cms/sec bewegen kann. Darüber hinaus ist es mit einem dreidimensionalen Micro-Vision-Alignment-Navigationssystem ausgestattet, das eine genaue Ausrichtung innerhalb von Sekunden gewährleistet. Darüber hinaus verfügt die SFS über eine Wafer-Be- und Entladeeinheit, die die Wafer-Tray-Ebene einstellt. Dadurch erreicht die Wafer-Ladegeschwindigkeit bis zu 15 Wafer/Sekunde. Der integrierte Scanner und Sensor sorgen für eine automatische Erkennung jedes Wafers und die Betriebsleistung wird durch Selbsteinstellung von Prozessparametern optimiert. Der SFS ist für eine breite Palette von Wafern von 2 „bis 8“ und von 0,3 mm bis 4 mm ausgelegt. Es verfügt über eine Drehmomentsteuerungsmaschine, die eine synchronisierte Bewegung ermöglicht und Waferschäden verhindert. Die Wafer werden in einem geschlossenen Gehäuse mit einer vakuumdichten Methode transportiert, wodurch unerwünschte Partikelverunreinigungen minimiert werden. Abschließend ist SFS 01CS ein fortschrittlicher Wafer-Handler, der für eine schnelle, präzise und kostengünstige Herstellung in Halbleiterchip-Herstellungsprozessen entwickelt wurde. Es verfügt über eine breite Palette von Funktionen wie CCD-Kamera-Vision, direkte Antriebsbewegung, Dual-Kamera-Sensing, Drehmomentsteuerung und Selbsteinstellung der Prozessparameter. Das SFS ist zudem mit einem geschlossenen Gehäuse ausgestattet, das eine Partikelverunreinigung verhindert und eine präzise Wafer-Handhabung gewährleistet.
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