Gebraucht ASYST SMIF-300FL #121297 zu verkaufen

ASYST SMIF-300FL Wafer Handler ist eine vollautomatische, kompakte und hochzuverlässige Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie zur Herstellung integrierter Schaltungen eingesetzt wird. Es soll die Bewegung von Wafern zwischen speziellen Prozesskammern und den Wafer-Lastanschlüssen erleichtern. ASYST SMIF 300FL ist mit einem 6-achsigen Roboterarm ausgestattet, der einen einzigen gekapselten Arm, zwei lineare Aktuatoren, 3 Bodenplatten und ein 3-achsiges Keilwerkzeugfutter enthält. Die linearen Aktuatoren bieten eine präzise Bewegung und Steuerung innerhalb von +/- .003mm der Genauigkeit in X-, Y & Z-Bewegungsrichtungen. Der Roboterarm hat eine effektive Reichweite von 300mm und eine maximale Tragfähigkeit von 6 kg. Die 3 Bodenplatten bieten eine sanfte und sichere Bodenfläche, um bis zu 6 Wafer pro Arbeitszyklus mit Leichtigkeit zu übertragen und zu halten. Das 3-Achsen-Futter ist in der Lage, kleine und empfindliche Wafer und andere Substrate reibungslos zu entfernen, zu transportieren und zu platzieren, während die Temperatur zwischen 20 und 40 Grad Celsius gehalten werden kann. SMIF 300 FL bietet zudem eine verbesserte Prozessflexibilität mit Fernrezept-Steuerung, Skalierbarkeit und mehreren Prozesskammeranschlussoptionen. Neben seiner robusten Steuerung umfasst ASYST SMIF 300 FL auch eine All-in-One-integrierte Lösung mit unübertroffener Bedienerfreundlichkeit sowie ein volles Spektrum an Sicherheitsmerkmalen und Schutzmaßnahmen. Das System nutzt eine Windows-basierte 5-Level-Sicherheitsarchitektur für sicheren Betrieb und zuverlässige Prozesssteuerung. Diese Architektur gewährleistet die Erkennung potenzieller Sicherheitsbedenken und die Vermeidung von Betriebs- oder Geräteausfällen, die zu Prozesskontaminationen führen können. Darüber hinaus verfügt SMIF 300FL über eine intuitive Benutzeroberfläche, einen leistungsstarken, aber intuitiven programmierbaren Logikcontroller, Touchscreen-Funktionalität und maßgeschneiderte Prozess-Integrationspakete für eine Vielzahl von Prozessen wie Reinigung, PVD, CVD, Lithographie und etc. Die offene Architektur des Controllers bietet flexible Bereitstellung, Skalierbarkeit von Software und eine robuste Produktion. SMIF-300FL ist für einfachen Zugriff und Wartung konzipiert, was es mühelos macht, Upgrades zu installieren oder die Teile zu ersetzen. All diese Funktionen haben die Wafer-Handhabungsmaschine auf neue Höhen gebracht und machen sie zu einer unschlagbaren Wahl für die Halbleiterindustrie. Abschließend ist ASYST SMIF-300FL eine zuverlässige und leistungsstarke Option für das Wafer-Handling in der Halbleiterindustrie. Mit seinem 6-Achs-Roboterarm, 3 Bodenplatten, 3-Achs-Spannfutter, einer robusten Sicherheitsarchitektur, einer intuitiven Benutzeroberfläche und Prozessintegrationspaketen bietet ASYST SMIF 300FL eine effiziente und kostengünstige Transport- und Prozesslösung für Wafer.