Gebraucht ASYST SMIF-300FL #293651670 zu verkaufen

ASYST SMIF-300FL ist ein modernster Wafer-Handler, der den hohen Anforderungen der Halbleiterwaferbearbeitung gerecht wird. Es nutzt eine flexible Konfiguration von Komponenten und funktionsübergreifenden Subsystemen, um den Prozess der Übertragung, Ausrichtung und Belastung von Halbleiterscheiben zu automatisieren. Zu den Komponenten gehören eine RCU (Robot Control Unit), ein Wafer-Handler und eine Offline-Aufzugsausrüstung. Die RCU ist das Hauptsteuerungssystem, das verwendet wird, um die Bewegung des Wafer-Handlers zu steuern und den Wafer durch die Übertragungs-, Ausrichtungs- und Ladevorgänge zu fahren. Sie besteht aus einer mikroprozessorbasierten SPS (Programmable Logic Controller) und einem Kommunikationsmodul. Die SPS dient zur Steuerung der Bewegungen des Wafer-Handlers, wie Positionierung für Waferübertragung, Ausrichtung und Beladung. Das Kommunikationsmodul dient der Datenübertragung zwischen der Robotersteuerung und der Hoststeuerung, die eine automatisierte Überwachung von Prozessen, Maschinenstatus und Fehlerberichterstattung ermöglicht. Der Wafer-Handler ist eine automatisierte Maschine zum Übertragen, Ausrichten und Laden von Wafern in das Werkzeug. Es ist mit einer Vielzahl von Komponenten ausgestattet, einschließlich jeder Endscheibe, einem Roboterarm, pneumatischen Handhabungsarmen und Sensoren. Die jeweils endseitigen Scheiben werden verwendet, um den Wafer zu greifen und zum Laden und Übertragen in Position zu bringen. Der Roboterarm wird dann verwendet, um den Wafer mit der Zieloberfläche auszurichten und in das Werkzeug zu laden. Die pneumatischen Handhabungsarme werden verwendet, um den Wafer innerhalb des Wafer-Handlers zu verwalten, um einen sicheren Verschluss für den Wafer-Transfer und eine sichere Ausrichtung für die Beladung zu gewährleisten. Die Sensoren sorgen dann für eine korrekte Ausrichtung des Wafers auf die Zieloberfläche und geben Rückmeldung an das Robotersteuerwerkzeug zur kontinuierlichen Überwachung des Prozesses. ASYST SMIF 300FL verfügt auch über eine erweiterte und einfach zu installierende Offline-Aufzugsanlage für die Werkzeugintegration. Es umfasst eine verstellbare Aufzugsplattform und einen Vakuumadapter, der eine nahtlose und effiziente Integration in das Werkzeugmodell ermöglicht. Der Aufzug kann einfach programmiert werden, um die vertikale Be- und Entladeausrüstung nach oben und unten zu bewegen und das horizontale Übertragungssystem in und aus der Position zu bewegen, was maximale Flexibilität und eine bequeme Möglichkeit bietet, sich mit vielen Werkzeugen zu integrieren. Der SMIF 300 FL Wafer-Handler ist in der Lage, Halbleiterscheiben hocheffizient und präzise zu übertragen, auszurichten und zu laden. Die breite Palette an Komponenten, gepaart mit einer fortschrittlichen und einfach zu installierenden Offline-Aufzugseinheit, ermöglicht es, sie einfach in fast jede Werkzeugmaschine zu integrieren, was sie zu einer idealen Wahl für die komplexen Anforderungen der Halbleiterwaferbearbeitung macht.