Gebraucht ASYST SMIF-300FL #293682366 zu verkaufen
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ID: 293682366
Weinlese: 2002
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M/N: SMIF-300FL, S3, 25WFR
P/N: 9750-2000-00
2002 vintage.
ASYST SMIF-300FL Wafer Handler ist ein automatisches Handhabungsgerät speziell für Halbleiterlithographie-Anwendungen entwickelt. Es ist eine komplette, vollautomatisierte Wafer-Handling-Lösung, die bis zu 32 Wafer gleichzeitig verarbeiten kann. Es wurde entwickelt, um die Anforderungen der Halbleiterhersteller für hohen Durchsatz, Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu erfüllen. Das System verwendet vakuumbasierte Pick-and-Place-Module, um die Wafer zu bearbeiten. Bei Erreichen des entsprechenden Endpunktes werden die Wafer angehalten und zur weiteren Verarbeitung in die SMIF-Kassette gelegt. Es integriert auch eine robuste Einheit zur Abbildung und Verfolgung von Wafern auf Kassetten- und Waferebene. Diese Maschine ermöglicht eine effiziente Nachverfolgung des Standorts jedes Wafers während seiner Verarbeitung. ASYST SMIF 300FL besteht aus vier Hauptkomponenten: einem Controller, einem SMIF-Handler, einem Roboter und einem manuellen Handler. Die Steuerung ermöglicht es dem Benutzer, den Betrieb des Werkzeugs zu steuern. Der SMIF-Handler ist dafür verantwortlich, Wafer von der Quellkassette in die internen SMIF-Kassetten zu verschieben. Der Roboter ist dafür verantwortlich, Wafer an die richtigen Endpunkte zu bringen und mit dem manuellen Handler für manuelle Be- und Entladevorgänge zu arbeiten. Der manuelle Handler ist für die manuelle Steuerung von Transfer-, Be- und Entladevorgängen verantwortlich. Das Asset integriert flexible Wafer-Handling-Optionen wie einfaches oder doppeltes Wafer-Handling, Kassette zu Kassette-Transfers und Wafer zu Wafer-Transfers. Es unterstützt auch Standardprotokolle einschließlich SECS/GEM und WATC. SMIF 300 FL kann bis zu 32 Wafer gleichzeitig verarbeiten und ist damit ein hocheffizientes und produktives Werkzeug für Halbleiterlithographieanwendungen. Das Modell ist auch mit einer internen Temperatur- und Feuchtigkeitsüberwachung sowie einem fortschrittlichen Sicherheitssystem ausgestattet, das Umweltverschmutzungen verhindert. Das Gerät beinhaltet auch Funktionen wie ein automatisches Wafer History Log und einen Staubsauger für eine einfache Wartung. ASYST SMIF 300 FL Wafer Handler ist eine leistungsstarke und zuverlässige Maschine für Halbleiter-Lithographie-Anwendungen. Es bietet effiziente Wafer-Handhabung, genaue Mapping- und Tracking-Funktionen sowie verbesserte Sicherheitsfunktionen. Es ist zudem pflegeleicht und für hohe Produktivität und Zuverlässigkeit ausgelegt.
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