Gebraucht ASYST SMIF-300FL #293813600 zu verkaufen

ASYST SMIF-300FL ist ein vollautomatisches Wafer-Handler-Gerät, das bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist für die Verarbeitung von 2-Zoll, 4-Zoll, 6-Zoll und 8-Zoll-Wafern mit integrierter Schaltung (IC) konzipiert. Das System ist in der Lage, bis zu 300 Wafer in einer einzigen Kammer zu handhaben und ist in der Lage, Funktionalität wie Be- und Entladen, Be- und Entladen von Mischkörben, Pod-Austausch, Inspektion, Waschen und Stapeln von Wafern. Das Gerät ist mit einem blauen Laserscanner am Roboterarm ausgestattet, der die Ausrichtung des Wafers genau identifiziert. Die Waferorientierung ist kritisch, da die nächsten Bearbeitungsschritte in der richtigen Reihenfolge erfolgen müssen oder die gesamte Charge von Wafern ruiniert werden könnte. Die SMIF-Maschine enthält auch einen Autoscanner, der eine Makroinspektion jedes Wafers durchführt, wenn er in die Prozesskammer geladen wird. Dieser Scanner ermöglicht eine schnelle und genaue Platzierung jedes Wafers in den Korb und minimiert Fehler, die sich aus manuellen Platzierungsfehlern ergeben. ASYST SMIF 300FL verwendet auch einen patentierten deckelfreien Träger, der die Werkzeugausrichtung überflüssig macht und die Sicherheit des Werkzeugs erhöht. Der lidlose Träger verhindert das Eindringen oder Austreten von Partikeln aus der Prozesskammer, wodurch sichergestellt wird, dass die Wafer in einer sauberen Umgebung gehandhabt werden. Darüber hinaus wird der lidlose Träger in Verbindung mit dem Autoscanner am Roboterarm verwendet, der jeden Wafer abtastet und die Orientierung für eine ordnungsgemäße Handhabung einstellt. SMIF 300 FL ist zudem mit einem Hochgeschwindigkeits-Wafer-Transfer ausgestattet, der einen schnellen und präzisen Wafer-Transfer von der Prozesskammer zum Robotikarm ermöglicht. Die Waferübertragung des Modells wird durch eine integrierte Vakuumausrüstung gesteuert, die den Waferbruch während des Transfervorgangs verringern soll. Die Wafer-Übertragungsgeschwindigkeit ist ebenfalls einstellbar, was maximale Prozesseffizienz und schnellere Taktzeiten ermöglicht. Schließlich ist das System in der Lage, das Risiko des menschlichen Kontakts mit den Wafern und das Risiko einer Kontamination durch die Verwendung von kontaktfreien Werkzeugen zu verringern. Dadurch entfällt die Reinigung des Werkzeugs zwischen Waferbelastungen, wodurch der Durchsatz steigt. Das Gerät ist auch mit einem Satz von Sensoren ausgestattet, die fehlerhafte Wafer erkennen, bevor sie in die Prozesskammer gelangen, wodurch Verschmutzungsrisiken weiter minimiert werden. Zusammenfassend ist SMIF-300FL eine Hochgeschwindigkeits-vollautomatische Wafer-Handler-Maschine, die für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, bis zu 300 Wafer auf einmal zu handhaben und ermöglicht eine schnelle und präzise Waferübertragung. Es verwendet auch kontaktlose Werkzeuge, einen Autoscanner am Roboterarm und ein integriertes Vakuumwerkzeug, um das Kontaminationsrisiko zu reduzieren. Zusammen machen diese Funktionen ASYST SMIF 300 FL zu einem idealen Wafer-Handler für die heutige Halbleiterindustrie.