Gebraucht ASYST SMIF-300FL #9008182 zu verkaufen

ASYST SMIF-300FL ist eine Hochleistungs-Wafer-Handling-Ausrüstung für den Einsatz in der automatisierten Be- und Entladung von mehreren Wafern für die Verarbeitung in Halbleiter- und anderen verwandten Industrien. Das automatisierte Handhabungssystem ist sowohl in manuellen als auch in automatischen Versionen verfügbar und bietet Dual-Zone-Ladefähigkeit. Das Handgerät verwendet einen einstufigen Roboter zum Laden, Transportieren und Entladen von bis zu 300mm (12 Zoll) Wafern. Die automatische Maschine verwendet drei Robotermechanismen, die eine Vielzahl von Transferfunktionen bieten und die Bewegung mehrerer Wafer innerhalb derselben Zone ermöglichen. Das Werkzeug bietet hohen Durchsatz und Präzision mit einer maximalen Robotergeschwindigkeit von 180mm/s und einer Wiederholbarkeit von 1 μ m. Das robuste Design ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafergrößen und -dicken bis zu 300mm (12 Zoll) mit einer Gewichtskapazität von bis zu 180g zu handhaben. Es verfügt auch über eine geringe Kontamination Design, die gleichbleibende Sauberkeit und Produktschutz zu gewährleisten. Durch diesen geringen Verschmutzungsvorgang kann die Partikelerzeugung bei der Herstellung empfindlicher Geräte minimiert werden. Die Anlage ist für einfache Wartung und Flexibilität ausgelegt. Das mehrachsige Design ermöglicht eine schnelle und einfache Roboterbewegung und die Drehfähigkeit ermöglicht das Drehen von Wafern. Die Standardkonfiguration ermöglicht einen einfachen Zugriff auf alle internen Komponenten und ermöglicht den Austausch von Teilen, um Wartungs- und Reparaturzeiten zu verkürzen. Die Fähigkeit, Laufwerksparameter anzupassen, ermöglicht die Automatisierung des Modells, um die spezifischen Anforderungen des Benutzers zu erfüllen. ASYST SMIF 300FL ist kompatibel mit den meisten Industriestandard-Materialien, einschließlich Flachbildschirm (FPD) Glassubstrate und starre Wafer. Es entspricht auch verschiedenen mechanischen Standards, einschließlich JEDEC- und IEC-Standards für das Wafer-Handling. Das Gerät ist für die Integration in die meisten Produktionsanlagen konzipiert und kann gasförmige Prozesse durchführen, darunter Dampfphasenrückfluss, Sputter, Polieren und Ionenimplantation. Dieses leistungsstarke Wafer-Handling-System ist in der Lage, hohen Durchsatz und Präzision für die Handhabung mehrerer Wafer zu liefern. Mit einem robusten Design und einer geringen Verschmutzung eignet sich SMIF 300 FL ideal für automatisierte Produktionsprozesse in der Halbleiter- und Elektronikindustrie.