Gebraucht ASYST SMIF-300FL #9023346 zu verkaufen

Hersteller
ASYST
Modell
SMIF-300FL
ID: 9023346
Weinlese: 2002
Wafer load port Model no. SMIF-300FL, S3, 25 WFR Part no. 9750-2000-00 rev 013 2002 vintage.
ASYST SMIF-300FL Wafer Handler ist ein automatisiertes Wafer Handling System entwickelt, um die volumenstarke Be- und Entladung von Wafern während Halbleiterherstellungsprozessen zu verwalten. ASYST SMIF 300FL verfügt über ein Quick-Change-Pick-up-Modul für schnellen Waferaustausch, integrierte Wafer-Scrub-Fähigkeit und erweitertes In-situ-Scanning zur Wafer-Orientierungsbestimmung. SMIF 300 FL ist in der Lage, konfigurierte Wafer in 300mm, 200mm oder 150mm Konfigurationen zu handhaben und zu zerlegen. Es wurde entwickelt, um Wafer bis zu einer Dicke von 1mm und einem Durchmesser von 40mm bei bis zu 300mm pro Sekunde effizient zu bewegen. Zusätzlich verfügt ASYST SMIF 300 FL über eine automatische Waferorientierungsbestimmung und Erkennung beschädigter Wafer. SMIF-300FL verfügt über einen hochmodularen Aufbau, der eine flexible Konfiguration ermöglicht. Es kann mit vorhandenen Geräten wie Öfen, Scannern oder Metrologiewerkzeugen kombiniert werden. Darüber hinaus ermöglicht der modulare Ansatz des Systems einfache Upgrades wie die Integration zusätzlicher Waferkassetten, FOUP und Roboter. SMIF 300FL Wafer Handler eignet sich für den Einsatz in einer Reihe von Wafer Fertigungsprozessen. Es kann beispielsweise unbearbeitete Waferwäsche, Bildgebung und Reinigung sowie Sortier-, Epi-Ätz- und Pre-Metal-Abscheidungsprozesse aufnehmen. ASYST SMIF-300FL ist auch unter Berücksichtigung der Sicherheit konzipiert und verfügt über eine Vielzahl von eingebauten Sicherheitsschutzfunktionen. ASYST SMIF 300FL ist ein fortschrittliches und zuverlässiges Wafer-Handling-System, das die Schwierigkeiten und Sicherheitsrisiken bei der Handhabung und Übertragung komplexer Waferkonfigurationen übernimmt. Es ist die ideale Wahl für Produktionsumgebungen mit hohem Durchsatz und bietet ein beispielloses Maß an Sicherheit und Effizienz.
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