Gebraucht ASYST SMIF-300FL #9255535 zu verkaufen
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ASYST SMIF-300FL ist ein modernster Wafer-Handler für den fortgeschrittenen Einsatz in Halbleiterherstellungsanlagen. Das Gerät ist für den Präzisionsbetrieb mit Komponenten entwickelt, um verschiedene Substrate und Materialien zu handhaben. Es ist eine zweistufige Ausrüstung, die Wafer sicher und präzise von und zu Bearbeitungsstationen transportiert. Die Hauptkomponente des 300FL ist ein vertikaler Lift, der so programmiert werden kann, dass Wafer genau auf die gewünschte Höhe und Transportebene positioniert werden. Dieser Lift wird von einem Servomotor angetrieben und wird durch einen einzigartigen Kugelgewindemechanismus unterstützt, um einen reibungslosen Betrieb zu gewährleisten. Darüber hinaus sind die Schienen so ausgelegt, dass sie eine Schwingungsisolierung ermöglichen, so dass die Wafer während des Transports nicht durch äußere Schwingungen beeinflusst werden. Das 300FL verfügt auch über einen maßgeschneiderten Plattformschutz, um die Wafer während des Transports vor unbeabsichtigtem Kontakt zu schützen. Dieser Schutz verwendet eine Reihe von Sensoren und Näherungsschaltern, die Bewegung erkennen und automatisch jede Operation mit dem Wafer-Handler abschalten, um Schäden zu verhindern. ASYST SMIF 300FL verfügt über mehrere zusätzliche Funktionen, die einen sicheren und effizienten Betrieb gewährleisten. Beispielsweise kann die Spurausrichtung so programmiert werden, dass sie von den motorischen Antriebswellen gelöst wird, so dass die Wafer nicht durch die Motorbewegung oder das Drehmoment beeinflusst werden. Das System verfügt auch über eine integrierte Vakuum- und Lufteinheit, die Überdruck für die effiziente Handhabung von Wafern zwischen verschiedenen Trägern oder zwischen dem Werkzeug und dem Wafer Handler nutzt. SMIF 300 FL verfügt auch über eine ausgeklügelte Datensteuerungsmaschine, die eine einfache Überwachung der Position des Wafers während seiner gesamten Bearbeitungszeit ermöglicht. Dies ermöglicht eine kontinuierliche Kontrolle der Flugbahn des Wafers sowie die Möglichkeit, seine Verarbeitungsparameter im Laufe der Zeit zu ändern und anzupassen. Insgesamt ist SMIF-300FL ein fortschrittlicher, zuverlässiger Wafer-Handler für die Halbleiterherstellung. Es verfügt über einen präzisen motorisierten Aufzug, einen maßgeschneiderten Sicherheitsschutz und ein leistungsstarkes Datenkontrollwerkzeug. Kombiniert sorgen diese Merkmale für eine präzise, sichere und effiziente Handhabung von Wafern zwischen Bearbeitungsstationen.
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