Gebraucht ASYST VersaPort 2200 STD #9043893 zu verkaufen

ASYST VersaPort 2200 STD ist ein Wafer-Handler, der für das hochpräzise Be- und Entladen von Roboterscheiben ausgelegt ist. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafergrößen von 2 „bis 8“ auf Kassettenträger mit 25 mm Höhe zu handhaben. Mit dieser Automatisierungsplattform können Benutzer benutzerdefinierte Workflows erstellen, um Wafer innerhalb einer Prozesszelle zu transportieren. Die fortschrittliche Roboterbewegungssteuerung ermöglicht eine Waferzentriergenauigkeit von +/- 0,03 mm mit einer Geschwindigkeit von bis zu 0,35 m/sec. Es verfügt über eine eingebaute „run on short“ -Funktion, die es Benutzern ermöglicht, Roboterbewegungswege schnell anzupassen, um kurze Wafer- oder Kassettengrößenfehler auszugleichen. Dies garantiert einen erfolgreichen Wafertransfer während des Betriebs. Sein zuverlässiges und wartungsfähiges Design sorgt für genaue und wiederholbare Roboterbewegungen sowie minimale Ausfallzeiten. Sicherheitsverriegelungen werden in alle Komponenten eingebaut, um Benutzer und Geräte vor potenziellen Kontaminationen zu schützen. Ein optionales Gasspülsystem hilft, die Reinraumumgebung zu erhalten, indem es beim Be- und Entladen eine Schutzgassperre bereitstellt. Das einzigartige Design des VersaPort 2200 ermöglicht es, in einer Wafer-Fab-Umgebung auf kleinster Fläche zu arbeiten. Es besteht aus zwei motorisierten Linearroboterarmen, einem Waferwagen und einem Tragrahmen. Die beiden Roboterarme bewegen sich gleichzeitig entlang einer linearen Schiene in der x- und y-Achse. Datenprotokollierung und Rückverfolgbarkeit werden auch mit der optionalen Datenerfassungsschnittstelle zur Verfügung gestellt. Um ein hohes Leistungsniveau zu gewährleisten, ist der VersaPort 2200 für eine schnelle und einfache Installation bei gleichzeitiger Reduzierung der Wartungskosten konzipiert. Es hat Pumpen eingebaut, die pneumatische Energie für die Vakuumkupplung mit dem Wafer für eine zuverlässige Waferzentrierung und -handhabung bereitstellen. Alle Komponenten verfügen über Staub- und Wasserschutz, um einen zuverlässigen Betrieb in rauen Umgebungen zu gewährleisten. Zusammenfassend ist VersaPort 2200 STD ein Hochleistungs-Wafer-Handling-System mit fortschrittlicher Roboterbewegungssteuerung und integrierten Sicherheitsfunktionen. Die Interoperabilität mit bestehenden fab-Prozessen und -Geräten ermöglicht eine schnellere Markteinführung und geringere Betriebskosten. Hohe Waferzentriergenauigkeit, zuverlässiger Betrieb und langlebiges Design machen den VersaPort 2200 zur idealen Wahl für die Waferfertigung.