Gebraucht ASYST VersaPort 2200 #9220477 zu verkaufen

ASYST VersaPort 2200 Wafer Handler ist eine Robotik-Ausrüstung, die die Handhabung von 2 „und 3“ Wafern in Halbleiter- und MEMS-Test-, Montage- und Wafer-Level-Verpackungsvorgängen automatisiert. Dieses System wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Wafer-Handhabungsoperationen zu unterstützen, einschließlich Wafer-Sondierung, Sortierung, Kartierung und Reinigung, sowie Inspektion und Prüfung, und ist mit einem robusten Ultra-Hochvakuum-Futterantrieb ausgestattet. Der VersaPort besteht aus einem Primärgehäuse, Prozessmodul und einem intelligenten Steuergerät. Das primäre Chassis bietet die Basis für alle mechanischen Funktionen, da es die Hauptantriebsmaschine und das Vakuumfutter enthält. Das Prozessmodul bietet dem Werkzeug Flexibilität und Skalierbarkeit, da es verschiedene Wafer-Handling-Tools für eine Reihe verschiedener Anwendungen aufnehmen kann. Die intelligente Steuerung des VersaPort ermöglicht das einfache Einrichten und Modifizieren von Modellen mit Hilfe einer grafischen Benutzeroberfläche (GUI). Der VersaPort wurde speziell für den Bediener entwickelt. Es ist mit zahlreichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, einschließlich einer vollen mechanischen Verriegelung und einer programmierbaren Sicherheitszonenausrüstung. Darüber hinaus ist das System in der Lage, rauen Produktionsumgebungen standzuhalten, da es mit IP65 Metallgehäuse, einem HEPA-Filter und einem gasdichten Roboterarm ausgestattet ist. Diese Einheit bietet auch eine hohe Präzision unter Verwendung einer integrierten XYZ-Achse, eines XY-Positionierers, einer linearen Umwandlungsstufe und einer zweiachsigen Bewegungsmaschine. Dies ermöglicht eine vollständige Präzisionskontrolle über Waferübertragung, Trennung und Lieferung innerhalb eines einzigen Werkzeugs. Der VersaPort ist auch für maximale Produktivität ausgelegt. Die Anlage ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafern pro Charge zu handhaben und hat einen Durchsatz von bis zu 200 Wafern pro Stunde. Darüber hinaus ermöglicht die kristalline Steifigkeitsachse eine höhere Beschleunigung, da sie die Geschwindigkeit und Genauigkeit des Modells erhöht. Darüber hinaus verfügt der VersaPort über einen geringen Platzbedarf, da er über einen modularen Aufbau und eine Vielzahl erweiterbarer Komponenten verfügt. Insgesamt ist VersaPort 2200 ein innovativer Wafer-Handler für die Halbleiter- und MEMS-Produktionsbranche und wurde entwickelt, um die strengen Anforderungen der Branche mit ihren hohen Präzisions- und Durchsatzfähigkeiten sowie ihren Skalierbarkeits- und Sicherheitsmerkmalen zu erfüllen.