Gebraucht ASYST VersaPort 2200 #9230186 zu verkaufen

ASYST VersaPort 2200 ist ein anspruchsvoller Wafer-Handler, der eine reibungslose, nahtlose Schnittstelle zwischen dem Halbleiterherstellungsprozess und der Ausrüstung bietet, die die für die Fertigung von Halbleiterbauelementen erforderlichen Tests durchführt. VersaPort 2200 ermöglicht den automatisierten Transport von Wafern zwischen verschiedenen Schritten innerhalb des Halbleiterherstellungsprozesses. ASYST VersaPort 2200 besteht aus mehreren Hauptkomponenten. Die erste Komponente des VersaPort 2200 ist ein Träger, ein modularer Rahmen zum Tragen von Halbleiterscheiben. Diese Träger sind mit Zentrierstiften ausgestattet und können einfach mit anderen Modulen wie Autokassette, Warmarbeitsstation, Temperaturstation usw. gekoppelt werden. Während des Automatisierungsprozesses werden die Träger auf Roboterarme geladen, die Wafer in den Träger entladen, übertragen und neu positionieren. Die zweite Komponente des ASYST VersaPort 2200 ist der automatische Kassettenlader. Diese Vorrichtung ist zum schnellen und zuverlässigen Ein- und Ausladen von Wafern in den Träger ausgelegt. Der automatische Kassettenlader verfügt über zwei vorkonfigurierte Kassettentypen, die bei Bedarf manuell geändert werden können. Darüber hinaus verfügt der Autokassettenlader über einstellbare Schlitzgrößen für verschiedene Wafergrößen und Dicken, sodass gleichzeitig bis zu 500 Wafer geladen werden können. Die dritte Komponente ist die Warmarbeitsstation, die für den „Hot Grip“ und die Übertragung von Wafern bei bestimmten Temperaturen zur Herstellung und Prüfung ausgelegt ist. Die heiße Arbeitsstation verwendet hochintensiven Laser, der auf den Wafer fokussiert ist, um sie schnell, genau und zuverlässig zu übertragen. Zusätzlich hat die heiße Arbeitsstation einen einstellbaren Temperaturbereich von 0-1000 Grad Celsius, um Wafer bei verschiedenen Temperaturen unterzubringen. Die vierte Komponente des VersaPort 2200 ist die Temperaturstation, mit der die Wafertemperatur vor der Herstellung oder Prüfung stabilisiert wird. Die Temperaturstation besteht aus zwei Segmenten, einer Temperaturregelkammer und einem Kühlmittelkrümmer. Die Temperaturregelkammer hat einen einstellbaren Temperaturbereich von -100 bis + 100 ° C, was hilft, eine konstante Temperatur der Wafer zu halten. Der Kühlmittelkrümmer ist so konzipiert, dass er dem Wafer kryogene Kühl- oder Wärmebehandlungsgase zuführt und eine präzise Einstellung der Wafertemperatur ermöglicht. Die letzte Komponente des ASYST VersaPort 2200 ist das Robotermodul. Dieses Modul hat die Kapazität, 1 bis 12 Wafer gleichzeitig zu tragen, wodurch eine maximale Kapazität von 600 Wafern getestet werden kann. Das Robotermodul ermöglicht die automatische Fähigkeit von VersaPort 2200 und die Fähigkeit, die Wafer innerhalb des Halbleiterherstellungsprozesses zu übertragen und neu zu positionieren. Darüber hinaus hat das Robotermodul die Möglichkeit, Fehler während des Transportvorgangs zu erkennen und für weitere Maßnahmen zu melden. Insgesamt ist ASYST VersaPort 2200 ein zuverlässiger und effizienter Wafer-Handler, der den Halbleiterherstellungsprozess optimiert. VersaPort 2200 hat die Möglichkeit, Wafer je nach Temperatur schnell und präzise zu transportieren. Zusätzlich trägt ASYST VersaPort 2200 dazu bei, den Durchsatz von Wafertests und -herstellungen zu maximieren.