Gebraucht ASYST VersaPort STD AMP #9251766 zu verkaufen

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ID: 9251766
Weinlese: 2004
Load ports P/N: 9700-5384-11 Left & right 2004 vintage.
ASYST VersaPort STD AMP ist ein modularer, programmierbarer und automatisierter Wafer-Handler, der von ASYST Technologies entwickelt wurde. VersaPort STD AMP-Ausrüstung ist eine Multi-Achsen-Wafer-Handling-Lösung speziell entwickelt, um anpassbar zu sein, so dass mehr Flexibilität, um die Produktionsanforderungen zu erfüllen. Mit seiner modularen Bauweise lässt es sich problemlos an eine Vielzahl unterschiedlicher Wafergrößen anpassen und erfüllt gleichzeitig die Anforderungen der kompliziertesten Wafer-Handhabungsprozesse. ASYST VersaPort STD AMP verfügt über ein 2-Achsen-System sowie ein Standard-Multi-Achsen-Drehmodul, das durch eine hohe Genauigkeit Temperatur- und Bewegungssteuerung mit „J“ und „L“ Bewegungsstile für höhere Genauigkeit unterstützt wird. Darüber hinaus verfügt der Wafer-Handler über eine „Auto-Clean“ -Funktion, die einen dedizierten Wafer-Mover und spezielle Erkennungs- und Reinigungsgeräte verwendet, um die Wafer effektiv zu reinigen. VersaPort STD AMP umfasst auch einen durchsatzoptimierten Palettierungsprozess, der bis zu 25 Wafer pro Zyklus handhaben kann und im Vergleich zu herkömmlichen Wafer-Handlern deutlich höhere Verarbeitungsgeschwindigkeiten ermöglicht. ASYST VersaPort STD AMP kann perfekt in die Prozesswerkzeuge des Kunden integriert werden, wie Diffusionsöfen, Abscheidekammern und Wärmeglühöfen, und enthält eine optionale fortschrittliche Inspektionsmaschine, um defekte Wafer zu erkennen. Das erweiterte Feature-Set von VersaPort STD AMP umfasst auch einen integrierten zweiseitigen Wafer-Handler, eine verbesserte Be-/Entladung von Wafern und ein Staubfiltrationswerkzeug, das die Verschmutzung der Waferoberflächen verringern soll. ASYST VersaPort STD AMP ist sicher und einfach zu bedienen, mit einem programmierbaren Ausnahme-Handler, der Fehlerwiederherstellung und Korrekturroutinen bietet, um Unterbrechungen im Produktionsprozess zu verhindern. Dieses zuverlässige Wafer-Handling-Element verfügt auch über eine intuitive Touchscreen-Oberfläche, die die Eingabe von Befehlen vereinfacht, und sein mehrstufiges Sicherheitsmodell stellt sicher, dass nur autorisierte Benutzer auf das Gerät zugreifen können. Insgesamt ist ASYST Technologies VersaPort STD AMP eine vielseitige und flexible Wafer-Handling-Lösung, die seinen Anwendern zuverlässige und effiziente Wafer-Verarbeitungslösungen bietet. Dank seines individualisierbaren Designs ist es gut geeignet, die immer komplexeren Anforderungen der modernen Halbleiterindustrie zu erfüllen.
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