Gebraucht ASYST VersaPort #293587537 zu verkaufen

ASYST VersaPort
Hersteller
ASYST
Modell
VersaPort
ID: 293587537
SMIF Load port.
ASYST VersaPort ist ein modernster Wafer-Handler, der die Kosten senken, den Durchsatz steigern und eine hohe Automatisierung für die Halbleiter- und Optoelektronik-Produktion ermöglichen soll. VersaPort ist in der Lage, Wafer bis 12 "Durchmesser zu handhaben und bietet Flexibilität für eine breite Palette von Wafergrößen und -prozessen. Sie transportiert und bearbeitet Wafer vollautomatisch von Eingang zu Ausgang. ASYST VersaPort besteht aus mehreren Schlüsselkomponenten, nämlich dem ASIC (Application Specific Integrated Circuit), dem Armmodul, dem Adaptermodul und der peripheren Schnittstelle. Das ASIC ist das Produkt des Design-Toolkits von ASYST Technologies und fungiert als zentrale Steuerungslogik für VersaPort-Geräte. Es unterstützt das gesamte System und erfüllt die spezifischen Bedürfnisse des Benutzers. Das Armmodul ist ein wesentlicher Bestandteil von ASYST VersaPort. Er versorgt den Roboterarm mit einem gelenkigen Endeffektor, der es ihm ermöglicht, den Wafer zu bewegen, zu drehen und zu manipulieren. Das Adaptermodul bietet eine Plattform zur sicheren Montage des Wafers während des Gebrauchs und ermöglicht den einfachen Austausch von Wafern zwischen seinen Anschlüssen. Darüber hinaus kann es zur Integration mit externen Werkzeugmaschinen wie Ionenimplantatoren, CVD-Sputtersystemen, Härtungsöfen und Kartierungswerkzeugen verwendet werden. Die Peripherieschnittstelle ist die letzte Hauptkomponente von VersaPort. Es dient als Verbindung zwischen ASYST VersaPort und Peripheriegeräten wie Vision-Systemen, Mapping-Tools und Druckern. In Zusammenarbeit mit dem Armmotor ermöglicht diese Schnittstelle eine einfache Integration dieser Geräte und die Fernüberwachung der Waferfertigung. Die aktuelle Iteration von VersaPort bietet mehrere zusätzliche Funktionen, wie End Effector Interchangeability (EEI), die ein schnelles und einfaches Austauschen von Endeffektoren ermöglicht, um verschiedene Wafergrößen, Layouts, Geometrien und Prozesse unterzubringen. EEI reduziert auch Ausfallzeiten aufgrund der bequemen Wartung und Wartbarkeit. Das Gerät ist auch hochmodular und konfigurierbar, so dass Flexibilität und Erweiterung der Maschine auf die Bedürfnisse des Benutzers. Zusätzlich zu den Kernkomponenten von ASYST VersaPort bietet ASYST zusätzliche Zubehörprodukte an, um VersaPort weiter an spezifische Produktionsanforderungen anzupassen. ASYST TechnologiesASYST VersaPort Wafer Handler ist die ultimative Lösung für hohe Durchsatz und kosteneffiziente Wafer Produktion. Seine fortschrittliche Technik, dediziertes Zubehör und Konfigurierbarkeit macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für Unternehmen, die eine automatisierte und genaue Möglichkeit suchen, mit hohen Mengen an Wafern und Substraten umzugehen.
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