Gebraucht ASYST VersaPort #293600170 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ASYST VersaPort ist ein Wafer-Handler, der entwickelt wurde, um eine integrierte Roboterausrüstung an einem Ort bereitzustellen, um den Anforderungen vieler Wafer-Handling-Anwendungen in der Halbleiterindustrie gerecht zu werden. VersaPort ist sowohl für Pick-and-Place-Funktionen geeignet und verfügt über ein hohes Maß an Flexibilität und Skalierbarkeit, um die sich ändernden Prozess- und Produktionsanforderungen zu erfüllen. Das ASYST VersaPort-System besteht aus mehreren Hauptkomponenten, darunter einem Roboter, einem Controller und mehreren Modulen für die periphere Konnektivität. VersaPort Roboter, auch als Gelenkroboterarm bekannt, ist eine vielseitige, Hochgeschwindigkeits-Robotereinheit, die sowohl autonom als auch adaptiv arbeiten kann. Sein Controller ist ein integrierter, modularer Bewegungscontroller, der mehrachsige Bewegungssteuerung, Wegsteuerung, Rezepturverwaltung und robotische Befehlsausführung in eine einzige hierarchische Steuerungsmaschine integriert. Seine peripheren Konnektivitätsmodule ermöglichen ASYST VersaPort Werkzeug zur Schnittstelle mit einer breiten Palette von Wafer-Ausrüstung und Komponenten, wie Drehrohr, Flip-Tube, und Pick und Ort Spannfutter. VersaPort verwendet fortschrittliche, robotergestützte Sichtsysteme, um Wafer in und aus den Kassettensteckplätzen zu inspizieren, zu identifizieren und genau und schnell zu platzieren. ASYST VersaPort verfügt auch über Load-Lock-Funktionen und Vakuum-Management-Funktionen, um sicherzustellen, dass Wafer während des Transfervorgangs nicht entweichen oder beschädigt werden. Darüber hinaus verfügt VersaPort über integrierte Sensoren und Sicherheitssysteme, um das Risiko eines Vermögensausfalls zu reduzieren. Die Sensoren erfassen und überwachen Zustände im Roboterbereich, wie Modellspannungen und Belastungen, so dass der Roboter im Notfall herunterfahren oder umleiten kann. Die Sicherheitssysteme umfassen eine integrierte Türverriegelung und einen Not-Aus-Knopf. ASYST VersaPort ist mit leistungsstarken Software- und Programmiereinrichtungen ausgestattet, um automatisierte Wafer-Handling-Anwendungen zu unterstützen. Es verfügt über umfassende Bewegungsprogrammierbarkeit, mehrstufige Steuerung, Parameter und Definitionen, erweiterte Rezeptsteuerung und austauschbare Programmsequenzen. Darüber hinaus kann VersaPort einfach für verschiedene Prozesse und Anwendungen neu konfiguriert werden. ASYST VersaPort ist ein vielseitiges Hochgeschwindigkeits-Robotersystem für verschiedene Wafer-Handling-Anwendungen und bietet beeindruckende Flexibilität und Skalierbarkeit. Es kombiniert automatisierte Bewegungs-, Sichtprüfungs- und Sicherheitssysteme zu einer Lösung an einem Ort. VersaPort ist ein zuverlässiger und effizienter Wafer-Handler, der einen schnellen und präzisen Betrieb mit hoher Ausbeute ermöglicht.
Es liegen noch keine Bewertungen vor