Gebraucht ASYST VersaPort #9219619 zu verkaufen

ASYST VersaPort ist ein Wafer-Handler, der zum automatischen, Inline-Be- und Entladen von Halbleiterwafern entwickelt wurde. Es handelt sich um einen vollautomatisierten Handler mit hoher Durchsatzkapazität, der die Rüstzeiten verkürzen und die menschliche Interaktion minimieren soll. VersaPort wurde entwickelt, um maximale Flexibilität mit einer Vielzahl von Prozessoptionen und Werkzeugfunktionen zu bieten. ASYST VersaPort kann Wafer bis 200 mm Durchmesser mit einer Kapazität von bis zu 15 Wafern pro Zyklus handhaben. Es wurde entwickelt, um eine effektive und effiziente Wafer-Handling-Lösung mit einer intuitiven Benutzeroberfläche zu sein. VersaPort ist mit optionalen Vision-Systemen ausgestattet, die Prozesssteuerung, Wafer-Sortierung und Inspektionsmöglichkeiten ermöglichen. Diese Vision-Systeme können auch Waferkratzer und andere Defekte erkennen und ermöglichen eine präzise Wafer-Handhabung während des Prozesses. ASYST VersaPort ist in der Lage, mit einer Vielzahl von Prozesswerkzeugen zu interagieren und kann in bestehende Verarbeitungslinien integriert werden. Sie hat die Fähigkeit, Wafer ohne manuellen Eingriff von einem Werkzeug auf ein anderes zu übertragen und kann sowohl für den Inline- als auch für den Offlinebetrieb konfiguriert werden. VersaPort verfügt über mehrere Prozessoptionen mit hohem Durchsatz und Gleichmäßigkeit. Diese Prozessoptionen sind darauf ausgelegt, den Durchsatz zu maximieren und die höchsten Erträge mit minimalen Defekten zu erzielen. ASYST VersaPort verfügt auch über eine fortschrittliche Roboterausrüstung, die Wafer aufladen, übertragen und entladen kann. Dieses System nutzt eine zweistufige Entschlüsselungseinheit zur präzisen Wafer-Handhabung beim Be- und Entladen von Prozesswerkzeugen. Die Robotermaschine wird durch ein energieeffizientes Design angetrieben, um den Energieverbrauch zu reduzieren. Eine offline programmierbare Software-Schnittstelle ist integriert, um schnelle Prozessänderungen und Rezepturentwicklung zu ermöglichen. VersaPort ist mit verschiedenen Sicherheitsmechanismen und Funktionen ausgestattet, die die Sicherheit des Bedieners und des Wafers gewährleisten. Es wurde entwickelt, um menschliche Fehler mit Präzisionsausrichtung und automatisierter Wafer-Handhabung zu reduzieren. Ein integriertes Vision-Tool ist enthalten, um Fehlstellungen zu erkennen und Feedback zur Prozesskorrektur zu geben. ASYST VersaPort wurde entwickelt, um Ausfallzeiten zu reduzieren und die Produktivität mit seiner intuitiven Benutzeroberfläche und erweiterten Automatisierungsfunktionen zu erhöhen.