Gebraucht ASYST VersaPort #9277985 zu verkaufen

ASYST VersaPort
Hersteller
ASYST
Modell
VersaPort
ID: 9277985
Load port Does not include shuttle.
ASYST VersaPort ist ein Roboter-Wafer-Handler, der entwickelt wurde, um Halbleiterscheiben schnell und präzise zwischen mehreren Stationswerkzeugen zu bewegen. Es verwendet einen einzigen, vollautomatisierten, mehrachsigen Roboter, um das Be- und Entladen von Front- und Back-End-Produkten zu beschleunigen. Damit ist VersaPort ideal für Wafer-Durchsatz-Prozessanwendungen. ASYST VersaPort bietet hohe Präzision, Wiederholbarkeit und Genauigkeit für die Halbleiter-Wafer-Übertragung bei hoher Geschwindigkeit. Es bietet ein konfigurierbares 4- oder 6-Achsen-Design mit kundenspezifischer Scantechnologie, was innerhalb von Sekunden zu einem vollständigen Waferaustausch führt. Es verfügt über ein UltraSmooth® Bewegungssteuerungssystem, das reibungslose und leise Bewegungen gewährleistet. Dies wird durch synchronisierte Bewegung auf allen Achsen erreicht. Die Servoantriebe und der mehrachsige Roboterarm des Handlers sind benutzerfreundlich und über eine einfach zu bedienende Softwareplattform zugänglich. VersaPort bietet eine breite Palette von Funktionen für präzises und effizientes Wafer-Handling. Dazu gehören ein integriertes Vision-System, Roboter-Armende-Werkzeuge und mehrere Palettenpositionen für die Zuführung von Kassetten in verschiedenen Größen. Seine Ladeanschlüsse sind zur Sicherheit mit antistatischen Stiften magnetisch abgedichtet. Der Handler ist vollständig mit einer intuitiven Softwareplattform integriert, die eine einfache Einrichtung für eine Vielzahl von Wafergrößen und -typen ermöglicht. ASYST VersaPort verfügt auch über fortschrittliche Sensortechnologie und bietet unübertroffene Leistung für hochpräzises Handling. Durch diese Sensortechnologie entfällt die manuelle Waferzentrierung zwischen jedem Werkzeugtransfer. Darüber hinaus ist das System mit einer verstellbaren Düse ausgestattet, um eine breite Palette von Wafergrößen genau zu handhaben. VersaPort ist unter Berücksichtigung der Benutzersicherheit aufgebaut. Es integriert mehrere Sicherheitsmerkmale wie obere und untere Abdeckungstüren, Daumensicherheitsschalter, Lichtvorhang, Verriegelungen und Not-Aus-Taste. Dadurch bleibt der Handler jederzeit sicher und sicher. Abschließend ist ASYST VersaPort ein fortschrittlicher und zuverlässiger Roboterhandler für den Halbleiterwaferaustausch. Seine benutzerfreundliche Softwareplattform, Sensortechnologie und Sicherheitsfunktionen machen ihn zu einem der effizientesten und genauesten Wafer-Handler der Branche.
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