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ASYST WIS ist ein fortschrittlicher Roboter-Wafer-Handler für raue Umgebungen. Es wurde entwickelt, um die Automatisierung der Halbleiterwaferbearbeitung zu optimieren und eine Präzisionssteuerung und hohe Durchsatzraten zu gewährleisten. Das Gerät ist in der Lage, Roboterscheiben mit Geschwindigkeit und Genauigkeit an die Substratoberfläche zu binden. WIS bietet aufgrund seines einzigartigen Designs maximalen Zugriff auf den Endeffektor und bietet zudem eine benutzerfreundliche Robotersteuerung über eine intuitive Touchscreen-Oberfläche. Das System kann große Wafer bis zu 12 Zoll aufnehmen und verfügt über eine oder zwei Waferstellen pro Werkzeug. Es ist bequem auf einer beweglichen Basis montiert, um einen einfachen Zugang und Wartung zu gewährleisten. ASYST WIS ist mit einer Fülle von erweiterten Funktionen und Optionen ausgestattet, einschließlich einer High-Speed-Wafer Pick-and-Place-Einheit, Vision-Maschine für Wafer-Identifikation, Verschmutzungsregler und Temperatur- und Feuchtigkeitssensoren. Es enthält auch ein EOAT-Werkzeug (End-of-Arm-Tooling), das Waferträger, Rahmen, Wagen und andere Werkzeugmechanismen am Roboter-Manipulator montiert. WIS beinhaltet ein URSA Vision Asset, das dem Roboter die Möglichkeit bietet, Wafer für eine effiziente Handhabung zu identifizieren, zu messen und zu orientieren. Das ASYST WIS-Modell ist mit vorhandenen Automatisierungswerkzeugen und -geräten integriert, um die Produktivität zu erhöhen und Ausfallzeiten zu reduzieren. Mit seiner modularen und flexiblen Struktur bietet es eine Vielzahl von Optionen zur Verbesserung und Erweiterung der Produktionskapazitäten und zur Aufrechterhaltung niedriger Betriebskosten. Das Gerät wird auch mit einem optionalen integrierten Autotech Edge-Remaining-Chip-on-Wafer (ECOWAS) System geliefert, das überschüssiges Wafermaterial automatisch entfernen kann. WIS ist mit Leichtigkeit der Wartung im Auge entworfen. Es besteht aus korrosionsbeständigen Komponenten mit vielen Zugangspunkten für schnelle Inspektion und Reparatur. Es ist auch mit den neuesten Sicherheitseinrichtungen gebaut, um eine sicherere Bedienung für den Roboter und Benutzer zu bieten. ASYST bietet eine Vielzahl von maßgeschneiderten Lösungen und bietet technische Unterstützung und Support. ASYST WIS ist eine ideale Lösung für die effiziente Handhabung und Verklebung von Wafern in einer Reihe von Branchen wie Halbleiter, Unterhaltungselektronik und Luft- und Raumfahrt. Es ist ein ausgezeichnetes kostengünstiges Automatisierungswerkzeug, das sich leicht in bestehende Systeme integrieren lässt, um die Produktionseffizienz und den Durchsatz zu erhöhen.
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