Gebraucht ASYST WMS 2200 #293636083 zu verkaufen

ASYST WMS 2200 ist ein Wafer-Handler, der mit fortschrittlichen Wafer-Transportsystemen eingebettet ist und automatisierte Wafer/Reticle/Die-Sortier-, Be- und Entladefunktionen bietet. WMS 2200 bietet mit seiner integrierten Materialverfolgung, Alarmmanagement und branchenführender Software eine hervorragende Leistung. Der Wafer Handler ist erweiterbar und voll konfigurierbar, mit einer Grundfläche von 1300mm x 1430mm, einer Breite von 865mm, einer Höhe von 1658mm und einem maximalen Gewicht von 1300kg. ASYST WMS 2200 ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu handhaben, darunter bis zu acht 200mm Wafer, sowie mehrere Retikel, Werkzeuge und Platten. Es verfügt über zwei automatische Be- und Entladesysteme, die jeweils mit zwei unabhängigen Ladestationen ausgestattet sind. WMS 2200 verfügt außerdem über zwei Standard-FOUP-Ports (Front Opening Unified Pod), zwei vertikale FOUP-Ports, zwei FOUP-Ports niedriger Höhe und zwei vertikale Kassetten-Ports. Alle diese Ports unterstützen die gesamte Palette von FOUP-Größen, einschließlich Pod-Typen verschiedener Höhen, sowie Türtypen verschiedener Geometrien. Ausgestattet mit einem fortschrittlichen Wafer-Transportsystem umfasst ASYST WMS 2200 auch eine Reihe von internen Sensoren und modernste Bewegungssteuerung. Diese Steuerungen gewährleisten einen präzisen und zuverlässigen Betrieb mit minimalem Bewegungsjitter, auch bei höchsten Betriebsgeschwindigkeiten von bis zu 32.000 mm/min. Die Sensoren helfen bei der Erkennung von Substratverformung und -ausrichtung, sorgen für eine ordnungsgemäße Handhabung der Bewegung und überprüfen die Stempelidentifikationsinformationen. WMS 2200 umfasst auch ein umfangreiches Spektrum an Sicherheitsmerkmalen, einschließlich eines Bot-Türverriegelungs-Steuerungssystems, FOUP Türsicherheiten und Klemmen, Fehlausrichtungs-Auslösezone und Soft-Stop-Erkennung, schnelle Stopperkennung sowie Verriegelungen und Abdeckungen für bewegliche Teile. Darüber hinaus verfügt der Handler über mehrere benutzerfreundliche Funktionen, wie ein mehrstufiges Kassettenzugangssystem, eine grafische Touchscreen-Benutzeroberfläche und eine Reihe einstellbarer Parameter für die individuelle Bedienung. ASYST WMS 2200 umfasst auch eine breite Palette von automatischen Echtzeitdiagnosen, Parametersätzen und Barcode-Lesesystemen sowie eine Reihe von Materialverfolgungsdatenbanken und Dienstprogrammen, die eine höhere Zuverlässigkeit und Flexibilität im Betrieb bieten. Abschließend bietet WMS 2200 eine komplette Wafer-Handling-Lösung, die für viele Anwendungen geeignet ist. Sie kombiniert leistungsstarke Automatisierung, fortschrittliche Sicherheitsfunktionen und benutzerfreundliche Funktionen und ermöglicht Hochgeschwindigkeits- und Hochpräzisionsoperationen. Die breite Palette von Materialhandhabungs-, Tracking- und Prozesssteuerungsfunktionen machen diesen Handler zu einer Top-Wahl für Halbleiter- und optoelektronische Hersteller.