Gebraucht BLUE M S05IEU55 #9236617 zu verkaufen

BLUE M S05IEU55 Wafer Handler ist ein Roboter Wafer Handhabung Ausrüstung für die Übertragung und Handhabung von Wafern für eine Vielzahl von Prozessen entwickelt. Dieses System ist in der Lage, Wafer zwischen Workstations, Prozessentwicklungszentren und sogar mehreren Tools zu übertragen, was maximale Flexibilität und Effizienz bei der automatisierten Wafer-Handhabung ermöglicht. Die Einheit besteht aus einer Basiseinheit, zwei oberen Hubarmen und fünf unteren Führungssonden. Die Basiseinheit misst 1750mm mal 1150mm und hat einen erhöhten Arbeitsbereich. Die Hubarme sind hydraulisch betätigt und können bis zu 500mm über die Basiseinheit angehoben werden. Die unteren Führungssonden sind ebenfalls hydraulisch betätigt und können bis zu 45 ° über die Basiseinheit angehoben werden. Die Maschine ist mit einem 6-achsigen Roboterarm ausgestattet, der bis zu vier Roboter steuern kann. Jeder Roboter hat seine eigenen Parameter, so dass er sich separat oder als Gruppe bewegen kann. Der Roboterarm kann sich bis zu 900mm horizontal und bis zu 600mm vertikal bewegen. Der Roboter hat eine maximale Geschwindigkeit von 2,5 m/sec und einen Reichweitenbereich von 1,5 m über der Basis. Der Wafer-Handler verfügt zudem über eine automatisierte Waferaustauschstation, die bis zu zwei verschiedene Rahmen und acht verschiedene Wafergrößen unterstützen kann. Die Austauschstation ist mit einem integrierten Vision-Tool und einer hochwertigen Bildverarbeitungssoftware ausgestattet. Diese Software ermöglicht die präzise Positionierung von Wafern unterschiedlicher Größe mit Toleranz- und Bildverarbeitungseinstellungen. Das Asset verfügt auch über einen Wafer-Lift, der Wafer für den Transfer sicher halten kann. Der Waferlift hat eine Kapazität von bis zu 3500g und ist in der Lage, automatisch bis zu 270 ° zu drehen, ohne den Wafer zu beschädigen. Das Modell ist auch mit anderen Geräten wie Vakuumventilen, Kraftsensoren, Clusterwerkzeugen und Inspektionssystemen kompatibel. S05IEU55 Wafer-Handler ist modular aufgebaut und für den Einsatz in ESD- und Reinraumumgebungen geeignet. Die Ausrüstung ist zuverlässig bei niedrigen Betriebs- und Wartungskosten und wird durch eine breite Palette von Zubehör und Dienstleistungen unterstützt. Mit seiner hervorragenden Leistung ist der BLUE M S05IEU55 Wafer Handler eine ideale Wahl für eine effiziente Automatisierung von Wafer Handling-Aufgaben.