Gebraucht BROOKS AquaTran #158153 zu verkaufen

Hersteller
BROOKS
Modell
AquaTran
ID: 158153
Robots and controller for NOVELLUS.
BROOKS AquaTran ist ein hochmoderner Wafer-Handler. Es ist entworfen, um Wafer jeder Größe bis 200mm x 200mm zu handhaben. AquaTran verfügt über einen niederkraftarmen, winkelarmen Übertragungsmechanismus sowie ein kompaktes, ergonomisches Design. Das Gerät verfügt über eine vollständig geschlossene Betriebsumgebung, um die Wafer vor Staub, Wasser und anderen Verunreinigungen zu schützen. Das Gehäuse dient auch dem Wärmemanagement und der Minimierung des Geräuschpegels. Die Umgebung ist abgedichtet und unter Druck gesetzt, so dass das System in einem Vakuum so niedrig wie 1 Torr, sowie andere Nicht-Vakuum-Betriebsumgebungen zu arbeiten. BROOKS AquaTran ist mit einer Vakuumladeeinheit ausgestattet, um die Wafer-Handhabungszeit zu minimieren und die Wafer vor Umweltverschmutzung zu schützen. Es ist auch mit einem elektrostatischen Ladungsmonitor ausgestattet, der eine Leckage der von den Wafern emittierten elektrostatischen Ladungen erkennen kann. Die Maschine wurde entwickelt, um eine schnelle, hocheffiziente Waferbearbeitung zu ermöglichen. Es verfügt über ein hochgenaues Positionierungswerkzeug und einen dreiachsigen Servoantrieb sowie ein automatisiertes Positionierungsmodell, das eine präzise Ausrichtung und Platzierung des Wafers gewährleistet. Darüber hinaus ist es mit einer ausgeklügelten Gasströmungsausrüstung für saubere, Niederdruckprozesse und Waferbelastung ausgestattet. AquaTran ist sowohl für temperaturgeregelte Prozesse als auch für Lithographiesysteme optimiert. Darüber hinaus kann es programmiert werden, das gesamte Lithographiesystem direkt zu steuern, was die manuelle Prozesszeit erheblich reduziert. Das Gerät ist kompatibel mit den modernsten Wafer-Handling-und Transfer-Technologien, so dass es in praktisch jede Produktionseinheit integrieren. Darüber hinaus ist es in der Lage, mit anderen Systemen wie Hostcomputern zu kommunizieren. Dies gewährleistet eine nahtlose Integration zwischen BROOKS AquaTran und anderen Systemen. Schließlich ist die Maschine extrem zuverlässig, mit einer mittleren Zeit vor dem Ausfall von mehr als 4000 Stunden. Dies gewährleistet maximalen Durchsatz, Ausbeute und Qualitätskontrolle.
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