Gebraucht BROOKS AUTOMATION 002-0016-14 #9256375 zu verkaufen
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BROOKS AUTOMATION 002-0016-14 Wafer Handler ist ein anspruchsvolles Maschinenstück für die effiziente und zuverlässige Handhabung von Wafern während der Prozesse, die eine solche Maschine erfordern. Seine Eigenschaften und Design wurden entwickelt, um den Prozess mit einem Fokus auf Prozesssicherheit und Effizienz zu optimieren. Diese Maschine ist für Wafer bis zu 12 Zoll Größe mit einer Bewegung von bis zu 270 mm/s ausgelegt. Die Maschine ist mit zwei unabhängigen Wicklern ausgestattet, die eine sehr präzise Positionierung und Bewegung der Wafer ermöglichen. Es gibt auch eine dualkonzentrische Wafer-Tracking-Ausrüstung, die Wafer-Standorte während des gesamten Prozesses genau verfolgen kann. Die Maschine ist mit einem Vakuum- oder Absaugsystem ausgestattet, um Wafer aufzunehmen und an andere Stationen oder Stufen zu übergeben. Das Gerät ist mit einer Vielzahl von Sensoren und Detektoren ausgestattet, um sicherzustellen, dass der Prozess mit Präzision und Genauigkeit durchgeführt wird. Dazu gehören ein Vakuumdetektor zur Erfassung des ordnungsgemäßen Unterdrucks sowie Sensoren zur Erfassung der Anwesenheit und Lage eines Wafers. Die Maschine ist auch mit einer Wafer-Reinigungsmaschine ausgestattet, um Schmutz und Schmutz aus den Wafern zu entfernen. Es gibt ein integriertes Vision-Tool, um die Genauigkeit der Wafer-Positionierung zu verbessern und etwaige Fehler zu identifizieren und zu lokalisieren, und ein optionales digitales Imaging-Asset, das das Vorhandensein von Partikeln erkennen kann, die zu klein sind, um vom Vision-Modell erkannt zu werden. Die Maschine ist auch mit einer Alarmanlage ausgestattet, um den Bediener auf Unregelmäßigkeiten im Prozess aufmerksam zu machen. Das Warnsystem wird automatisch aktiviert, wenn ein Sensor oder Detektor ein potentielles Problem erkennt und mit einem visuellen oder Audiowarndisplay gekoppelt ist, um den Bediener zu warnen. Schließlich verfügt die Maschine über eine intuitive Benutzeroberfläche, so dass sie einfach eingerichtet und verwendet werden kann. Es wurde getestet, um sicherzustellen, dass es den Leistungsanforderungen und Sicherheitsanforderungen entspricht, und wird von einer Vielzahl von benutzerfreundlichen Dokumenten unterstützt, um die Einrichtung und den Betrieb der Maschine zu erleichtern.
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