Gebraucht BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7 #293643073 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7 ist ein Wafer-Handler, der speziell für Halbleiteranwendungen entwickelt wurde. Dieser Wafer-Handler ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafertypen und -größen zu handhaben, mit der Fähigkeit, Wafer sicher zu transportieren, auszurichten und zu lokalisieren, ohne sie zu beschädigen. Die ATR-7 erreicht dies durch eine präzise angetriebene Ausrichteinrichtung, die eine motorisierte Stufe nutzt, die von einem mikroprozessorgesteuerten Servosystem unterstützt wird. Die motorisierte Stufe ist in der Lage, eine hochpräzise X- und Y-Koordinatenpositionierung zu erzielen und bietet eine räumliche Wiederholbarkeit von 0,3 μ m in Entfernungen von 300 mm. Diese präzise Ausrichteinheit ermöglicht die präzise Ausrichtung und den Transport von Wafern mit einer Maßänderung von bis zu 2,5 mm. Der Wafer-Handler ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, die den Verbleib jedes Wafers sicherstellen und mögliche Kontaminationsrisiken reduzieren. Dies umfasst eine Reihe von Sensoren, die zur Erkennung von Fehlverhalten des Wafers verwendet werden, sowie eine integrierte Überwachungsmaschine, um eine ordnungsgemäße Ausrichtung bei der Übertragung des Wafers zu gewährleisten. Weitere Merkmale sind ein beheiztes Trucking-Modul, elektronisch einstellbare Prozessgeschwindigkeit und Datenerfassungsfunktionen. Um Wafer sicher zu transportieren und auszurichten, ist der ATR-7 Wafer-Handler sowohl in der Waferträger- als auch in der Wafer-to-Carrier-Genauigkeit vielfältig ausgelegt. Der mitgelieferte Waferträger ermöglicht eine präzise und wiederholbare Ausrichtung, die sicherstellt, dass jeder Wafer während des Transports richtig zentriert ist und bis zu zwanzig 200 mm, 7 Zoll oder drei 8-Zoll-Wafer aufnehmen kann. Der Träger umfaßt ferner eine Sensorik zur Detektion einzelner Wafer und das Vorhandensein eines STS-, ETS- oder DTS-Testbandes. Zusätzlich ist die Wafer-zu-Träger-Genauigkeit des ATR-7 von 0,15 µm bis 3,5 µm einstellbar, was eine präzise Platzierung jedes Wafers innerhalb des Trägers ermöglicht. 002-7090-05 ATR-7 ist ein äußerst zuverlässiger und präziser Wafer-Handler, der eine sichere, genaue und effiziente Wafer-Übertragung und automatisierte Wafer-Verarbeitung in Halbleiteranwendungen ermöglicht. Es bietet hohe Genauigkeit, wiederholbare Ausrichtung und die Fähigkeit, eine Vielzahl von Wafergrößen und -typen zu handhaben, alles auf sichere und sichere Weise. Es ist eine ideale Lösung für automatisierte Waferbearbeitungsanwendungen, die eine präzise Ausrichtung, Verfolgung und Transport von Wafern erfordern.