Gebraucht BROOKS AUTOMATION 002-7090-05 ATR-7 #9386160 zu verkaufen

ID: 9386160
Acutran atmospheric wafer handling robot.
BROOKS AUTOMATION ATR-7 ist ein Mehrzweck-Wafer-Handler, der in der Lage ist, verschiedene automatisierte Aufgaben für FAB-Operationen in der Halbleiterproduktion auszuführen. Es ist ideal für den Einsatz in Prozesskammern, Räumstationen und Reinräumen, da es eine kostengünstige Lösung für effiziente Bewegung, Transport und Bearbeitung von Wafern bietet. Die ATR-7 nutzt ein neuartiges Sichtsystem, mit dem sie Objekte in ihrer Umgebung präzise identifizieren und manipulieren kann. Mit dem Vision-System kann die ATR-7 nicht nur Wafer identifizieren, sondern auch bestimmte Punkte auf einem Wafer zur Manipulation und Verarbeitung lokalisieren. Es bietet eine dichte Waferlagerung und kann sowohl zum Speichern als auch zum Transport von Teilstücken oder von Teilstücken von Wafern beim Be- und Entladen aus einer Kassette verwendet werden. Die ATR-7 ermöglicht auch maximalen Durchsatz und bietet Flexibilität in der Waferverarbeitung, die Kompatibilität mit anwendungsspezifischen Anforderungen ermöglicht. Neben der Handhabung von Wafern umfasst die ATR-7 auch zusätzliche Funktionen, die ihre Leistung verbessern und ihre Gesamtkapazitäten erhöhen. Es kann mit Software- und Hardwareoptionen wie einer generischen Tool-Controller-Schnittstelle und einer fortschrittlichen digitalen I/O integriert werden, die eine interaktive Kommunikation mit einem Host ermöglicht. Das ATR-7 umfasst mehrere Sicherheitsfunktionen wie Verriegelungen, automatischer Türverschluss, Ausgangsabschaltung und Stromausfallschutz. Diese Sicherheitsmerkmale tragen dazu bei, dass der Werkzeugbetrieb sicher und mit minimalem Schadensrisiko durchgeführt wird. Darüber hinaus verfügt das ATR-7 über eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine einfache Einrichtung und Bedienung ermöglicht. Es ist kompatibel mit pneumatischen und motorisierten Wafer-Pod-Trägern und kann Größen von 200mm bis 300mm handhaben. Das ATR-7 ist eine innovative und vielseitige Maschine und somit eine ideale Wahl für Waferbearbeitungsvorgänge. Mit seinem präzisen Vision-System, mehreren optionalen Funktionen und Sicherheitsfunktionen ist BROOKS AUTOMATION ATR-7 eine umfassende und zuverlässige Lösung für Wafer-Handling-Anforderungen.
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