Gebraucht BROOKS AUTOMATION 002-7200-21 #9169693 zu verkaufen

BROOKS AUTOMATION 002-7200-21 ist ein vollautomatischer, robotergestützter Wafer-Handler zum Be-/Entladen von Wafern mit 300 mm Durchmesser in Halbleiterherstellungsanwendungen. Der Handler enthält eine Reihe von Komponenten und Funktionen, die zusammenarbeiten, um eine effiziente, zuverlässige und sichere Umgebung für den automatischen Transport von Wafern in und aus dem Bearbeitungswerkzeug zu schaffen. Der Handler verfügt über einen einzigartigen Mechanismus zum sicheren Greifen der Wafer bei gleichzeitiger schonender, schützender Berührung ohne Kontakt zur Oberfläche der Wafer. Der Greifmechanismus verwendet einen bürstenlosen Gleichstrommotor und einen drehbaren Abtriebsnocken, um zwei unabhängige Vakuumräume für den Wafer anzutreiben. Der Motor erzeugt auch eine Low-Level-Vibration, die dem Vakuum hilft, die Wafer sicher zu halten. Zusätzlich weist das Vakuum einen Weichstart und ein variables Beschleunigungs- und Verzögerungsprofil auf, so dass Wafer sicher gehandhabt werden. Der Handler verfügt außerdem über eine temperaturgesteuerte Waferkassette zum Aufbewahren von Wafern vor und nach der Verarbeitung. Die Temperatur der Kassette wird mit einem fortschrittlichen Wärmesteuerungssystem überwacht und aufrechterhalten, das eine optimale Leistung und Handhabungsgenauigkeit des Wafers gewährleistet. Außerdem kann die Kassette schnell und einfach ausgetauscht werden, so dass Wafer nacheinander ohne nennenswerte Verzögerungen bearbeitet werden können. Das gesamte System wird durch eine ausgeklügelte Steuerungssoftware überwacht. Die Automatisierungssoftware ermöglicht es dem Bediener, Parameter wie Servoeinstellungen, Parameter des thermischen Steuerungssystems und die Geschwindigkeit des Wafertransports während des Fluges einzustellen. Darüber hinaus ermöglicht die Software die Fernüberwachung und Diagnose des Handlers, um höchste Leistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. Die Software umfasst auch Funktionen wie Asalarm-Auflösungsprotokollierung und Selbstdiagnose, so dass Probleme oder Fehler schnell erkannt und behoben werden können. Insgesamt ist 002-7200-21 eine fortschrittliche Wafer-Handling-Lösung, die enorme Genauigkeit und Komfort für Halbleiterverarbeitungsvorgänge bietet. Der Handler verfügt über eine Vielzahl von Mechanismen und Technologien, um den sicheren Transport von Wafern mit minimalen Wartungsanforderungen zu gewährleisten. Letztlich ist der Handler ein wesentliches Werkzeug, um Wafer-Fertigungsprozesse zu optimieren und höchste Qualität und Zuverlässigkeit zu gewährleisten.